Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293653295 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H est un graveur/asher de haute performance au design convivial. L'équipement a à la fois des configurations de chargement supérieur et de chargement inférieur avec un système simple ou double ligne. Le contrôle de pression etcher/asher est maintenu par un régulateur de pression à deux étages. L'unité simple ligne peut traiter jusqu'à cinq recettes simultanément et la double ligne est capable de jusqu'à 10 recettes à la fois. La machine dispose également d'un robot X-Y-Z haute résolution pour le chargement et le déchargement des substrats, ainsi que d'un contrôleur d'angle de flanc programmable pour des processus de gravure et de cueillette précis. TEL Formula-1S-H etcher/asher utilise une méthode de chauffage hybride avec des bobines de chauffage RF et direct, assurant l'uniformité de la température dans la zone du timbre. L'atmosphère de la chambre est contrôlée par une pompe turbo-moléculaire, permettant une analyse et un entretien continus. Un interféromètre temps réel est inclus pour surveiller le processus, ainsi qu'un outil de ventilation sans filtre avec un échappement refroidi. L'actif comprend également un interlock de sécurité programmable avec un limiteur de fréquence de lock-out pour protéger le modèle et ses opérateurs. Une alimentation de commodité permet une connexion directe à l'équipement, avec une source d'énergie à un seul point du faisceau d'électrons. Enfin, on utilise un système de chauffage infrarouge pour ramener la température de l'environnement à la température désirée. TOKYO ELECTRON Formula-1S-H etcher/asher est une unité fiable et flexible, capable de produire des résultats précis pour toute application de gravure ou ashing. Sa conception conviviale, ses caractéristiques de sécurité intégrées et ses capacités de régulation de température avancées en font un excellent choix pour toute opération de gravure et de cueillette.