Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293654963 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H est un graveur/asher conçu pour des applications où une gravure rapide, précise et fine est nécessaire. L'équipement utilise une combinaison de source de plasma, gaz de gravure, puissance contrôlée et puissance électrique haute fréquence (RF) pour créer un profil de gravure parfait. Le processus de gravure commence par assurer un substrat propre et exactement planaire. Ceci est fait pour que le procédé de gravure donne des résultats de gravure uniformes dans le substrat. Ensuite, le gaz de gravure est injecté dans la chambre du système qui est séparée du substrat par une section d'antenne RF indépendante. L'unité applique alors l'énergie RF à la chambre, créant un plasma constitué de particules chargées et d'espèces réactives qui interagissent avec le substrat. La vitesse de gravure est alors contrôlée par une combinaison de paramètres tels que la zone de gravure, le débit du gaz de gravure et l'intensité de puissance. TEL Formula-1S-H est équipé d'une chambre de gravure de précision adaptée à la gravure de structures à haut rapport d'aspect (HAR) tout en garantissant un faible profil d'érosion verticale. Ceci permet de définir même les structures tridimensionnelles les plus compliquées avec une grande précision. En outre, la machine dispose d'une variété de fonctionnalités conviviales, telles que la reconnaissance automatique des plaquettes, un outil de gestion chimique embarqué, la maintenance chimique condensée et un guide de procédure assisté. TOKYO ELECTRON Formula-1S-H a un débit élevé, ce qui lui permet de produire des résultats de gravure de haute qualité dans un délai de traitement relativement court. L'actif est également conçu pour être fiable puisqu'il a été conçu pour résister aux champs RF de grande puissance et aux températures extrêmes. Toutes ces caractéristiques en font un choix idéal pour les applications de gravure qui nécessitent des gravures rapides et précises.