Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293654964 à vendre en France

ID: 293654964
Style Vintage: 2006
Diffusion furnace Control system Heater temperature: 600°C-900°C Load port FIMS Wafer transfer Boat elevator / Seal cap rotation Auto shutter Heater model N2 Load lock Boat operation Process: LPCVD Si SEMI STD-Notch, 12" Furnace temperature controller: M780 HTR Power box Carrier transfer Mechanical driver Exhaust box Front and rear upper cover Final valve box Gas flow chart O2 Analyzer Hard Disk Drive (HDD) Does not include HCT User interface: MMI and gas flowchart: Gas box and front operation panel installed Pressure display Unit: Mpa / Torr Carrier type: FOUP / 25slots SEMI STD Fork meterial: Al203 and PEEK W/T Type: 1+4 Edge grip 16-Carrier stage capacity Wafer notch aligner RCU UPS Power distribution system: 3-Phase connection type: Star connection Single-Phase connection: Grounded Single-Phase voltage Gas distribution system: FUJIKIN Integrated Gas System (IGS) IGS Final filter, regulator: MFC Z500 Type MKS Capacitance manometer vacuum gage - press monitor (133 Kpa) Power supply: 400 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H est un graveur/ashe spécialisé dans les procédés de microfabrication de précision utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'une plate-forme de fabrication unique avec un ensemble d'outils très polyvalent qui fournit la capacité de graver, nettoyer et planer les couches arrière-de-ligne (BEOL) et les structures avancées. La machine est conçue pour offrir un haut degré de flexibilité tout en permettant des niveaux de productivité élevés. L'équipement est utilisé dans la fabrication avancée de microélectroniques et est capable de manipuler une large gamme de microstructures, allant de simples masques d'ombre à des dispositifs haute densité avec des structures complexes. TEL Formula-1S-H est capable de gravure et de nettoyage à haut débit et est équipé d'une gamme complète de fonctionnalités automatisées qui garantissent la précision et la fiabilité. Il dispose d'un système de nettoyage intégré qui peut s'adapter aux processus humides et secs requis pour les couches de fond de ligne. Il dispose d'une unité CAO avancée pour un alignement précis et un contrôle de mouvement. La machine dispose d'un logiciel sophistiqué de contrôle des processus qui permet une rétroaction en temps réel et l'ajustement des paramètres pour assurer le rendement. TOKYO ELECTRON Formula-1S-H est conçu pour un débit et une répétabilité élevés. Son architecture modulaire et son logiciel de contrôle graphique convivial facilitent la configuration des processus. Il dispose également d'une interface sécurisée permettant un accès sécurisé à distance à des fins de maintenance et de programmation. L'outil est également équipé d'un contrôleur logique programmable pour un fonctionnement automatisé et une meilleure protection des appareils. L'actif a également intégré des caractéristiques de sécurité et des protections, comme des capteurs de température et de pression, des systèmes de détection d'incendie et de gaz, ainsi que la surveillance des processus. Le modèle a une capacité de gravure géométrique à basse température qui réduit la contrainte résiduelle et la distorsion sur des structures de substrat délicates. Il a également un processus de dépôt optimisé qui réduit la contamination des particules pour assurer la plus haute performance. Formula-1S-H est conçu pour répondre aux normes de l'industrie internationale de la production de semi-conducteurs. C'est un équipement de gravure et d'ashing de pointe qui est polyvalent et fiable. Il offre d'excellentes performances et une croissance accélérée de la microfabrication. Le système est conçu pour être facile à utiliser, flexible et rentable. Cela fait de TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H un choix idéal pour les besoins de microfabrication de haute précision de la fabrication moderne de dispositifs semi-conducteurs.
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