Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293654964 à vendre en France
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ID: 293654964
Style Vintage: 2006
Diffusion furnace
Control system
Heater temperature: 600°C-900°C
Load port
FIMS
Wafer transfer
Boat elevator / Seal cap rotation
Auto shutter
Heater model
N2 Load lock
Boat operation
Process: LPCVD
Si SEMI STD-Notch, 12"
Furnace temperature controller: M780
HTR
Power box
Carrier transfer
Mechanical driver
Exhaust box
Front and rear upper cover
Final valve box
Gas flow chart
O2 Analyzer
Hard Disk Drive (HDD)
Does not include HCT
User interface:
MMI and gas flowchart: Gas box and front operation panel installed
Pressure display Unit: Mpa / Torr
Carrier type: FOUP / 25slots SEMI STD
Fork meterial: Al203 and PEEK
W/T Type: 1+4 Edge grip
16-Carrier stage capacity
Wafer notch aligner
RCU
UPS
Power distribution system:
3-Phase connection type: Star connection
Single-Phase connection: Grounded
Single-Phase voltage
Gas distribution system:
FUJIKIN Integrated Gas System (IGS)
IGS Final filter, regulator: MFC Z500 Type
MKS Capacitance manometer vacuum gage - press monitor (133 Kpa)
Power supply: 400 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H est un graveur/ashe spécialisé dans les procédés de microfabrication de précision utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'une plate-forme de fabrication unique avec un ensemble d'outils très polyvalent qui fournit la capacité de graver, nettoyer et planer les couches arrière-de-ligne (BEOL) et les structures avancées. La machine est conçue pour offrir un haut degré de flexibilité tout en permettant des niveaux de productivité élevés. L'équipement est utilisé dans la fabrication avancée de microélectroniques et est capable de manipuler une large gamme de microstructures, allant de simples masques d'ombre à des dispositifs haute densité avec des structures complexes. TEL Formula-1S-H est capable de gravure et de nettoyage à haut débit et est équipé d'une gamme complète de fonctionnalités automatisées qui garantissent la précision et la fiabilité. Il dispose d'un système de nettoyage intégré qui peut s'adapter aux processus humides et secs requis pour les couches de fond de ligne. Il dispose d'une unité CAO avancée pour un alignement précis et un contrôle de mouvement. La machine dispose d'un logiciel sophistiqué de contrôle des processus qui permet une rétroaction en temps réel et l'ajustement des paramètres pour assurer le rendement. TOKYO ELECTRON Formula-1S-H est conçu pour un débit et une répétabilité élevés. Son architecture modulaire et son logiciel de contrôle graphique convivial facilitent la configuration des processus. Il dispose également d'une interface sécurisée permettant un accès sécurisé à distance à des fins de maintenance et de programmation. L'outil est également équipé d'un contrôleur logique programmable pour un fonctionnement automatisé et une meilleure protection des appareils. L'actif a également intégré des caractéristiques de sécurité et des protections, comme des capteurs de température et de pression, des systèmes de détection d'incendie et de gaz, ainsi que la surveillance des processus. Le modèle a une capacité de gravure géométrique à basse température qui réduit la contrainte résiduelle et la distorsion sur des structures de substrat délicates. Il a également un processus de dépôt optimisé qui réduit la contamination des particules pour assurer la plus haute performance. Formula-1S-H est conçu pour répondre aux normes de l'industrie internationale de la production de semi-conducteurs. C'est un équipement de gravure et d'ashing de pointe qui est polyvalent et fiable. Il offre d'excellentes performances et une croissance accélérée de la microfabrication. Le système est conçu pour être facile à utiliser, flexible et rentable. Cela fait de TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H un choix idéal pour les besoins de microfabrication de haute précision de la fabrication moderne de dispositifs semi-conducteurs.
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