Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293796682 à vendre en France
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ID: 293796682
Style Vintage: 2016
Furnace
Process: TEOS
Gas flow chart
Gases: Pure N2, 20% F2 / N2, HF, Q2
Power box
Exhaust box
WAVES Controller
Rapid Cooling Unit (RCU)
Pump diameter: 100 A
CKD VEC-V8 Series Valve
2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H (ou F1S-H) est un graveur/asher chimique qui offre des capacités de gravure/ashing de précision pour une variété de matériaux. L'équipement compact à quatre gaz comprend deux lignes de gaz de gravure et deux lignes de gaz d'inspiration énergétique. Le système est hautement automatisé, permettant à l'utilisateur de programmer les conditions souhaitées pour une variété de tâches de gravure/cueillette. Le F1S-H est équipé d'une fonction avancée telle qu'un chauffage haute résolution pour un contrôle précis de la température. Il dispose également d'un contrôle indépendant pour les quatre conduites de gaz, permettant un réglage de pression positive et négative pour maximiser l'efficacité de gravure/cueillette. La température de l'unité est contrôlée par un thermocouple composite Quartz. La température peut être ajustée dans une plage de 4- 600℃ pour correspondre au matériau gravé/cendré. Le F1S-H dispose également d'une buse multi-têtes avec des buses interchangeables allant de 3 à 55 micromètres avec une distance minimale entre chaque buse. Cela permet à l'utilisateur d'ajuster précisément la taille et la forme du motif de gravure au besoin, ce qui permet d'obtenir des résultats plus précis. Le F1S-H dispose également d'un outil de manipulation de film avancé qui est parfait pour les films secs et humides. L'actif peut manipuler des types de films tels que l'oxyde d'étain Indium, l'or et l'aluminium. Les substrats du film peuvent être traités jusqu'à 8 "de large avec une épaisseur de film de 3-15 microns. Pour les mesures de sécurité, le F1S-H est équipé de capacités de surveillance interne et externe des gaz d'échappement. Ce modèle est conçu pour éteindre automatiquement la chambre lorsque les niveaux de gaz atteignent un niveau dangereux. TEL Formula-1S-H est la solution idéale pour les applications de gravure/ashing, offrant précision et efficacité. Ses fonctionnalités et capacités avancées en font une option viable pour un large éventail de besoins de gravure/cueillette. Avec son design compact et son équipement robuste, le F1S-H est un choix économique et fiable pour une variété de besoins industriels, de laboratoire et de recherche.
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