Occasion ASM ISISP-189 #9396588 à vendre en France
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ASM ISISP-189 est un équipement automatisé d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour le processus de fabrication des semi-conducteurs. Il dispose d'un gestionnaire de plaquettes entièrement automatisé et d'un alignement automatisé pour les temps de réglage rapides. ISISP-189 est équipé d'une source lumineuse laser de 630 nm, d'une caméra monochrome haute résolution et d'un étage optique qui peut être aligné manuellement ou automatisé avec le logiciel inclus. Le système est capable de mesurer et de détecter les défauts des masques et des plaquettes jusqu'à 150 mm de diamètre. Lors de l'inspection d'un masque ou d'une plaquette, ASM ISISP-189 utilise à la fois des images de champ lumineux et de champ sombre pour capturer des images haute résolution de tous les défauts présents. L'unité est optimisée pour les structures à couches minces et à motifs, ce qui permet de détecter avec précision les défauts durs et mous. ISISP-189 est également capable d'identifier des structures répétitives telles que les « images similaires », qui peuvent être utilisées pour identifier rapidement des différences mineures entre une même réplication sur différentes plaquettes ou même des séries de production différentes. La machine dispose d'excellentes capacités de mesure de plaquettes avec une précision inférieure à 10 nm, ce qui la rend idéale pour une utilisation dans des procédés avancés de fabrication de puces. ASM ISISP-189 dispose de capacités de filtrage avancées pour améliorer la détection et la déclaration des défauts. Cela inclut les technologies de filtrage des sous-pixels qui extraient la quantité maximale d'informations de chaque inspection. L'outil comprend également différents algorithmes de classification et de rapport des défauts, permettant de traduire l'emplacement, l'intensité et la forme des défauts en données utiles pour l'analyse d'images. ISISP-189 est également équipé d'une suite logicielle robuste qui permet une analyse avancée des données et le traitement des images. Cela comprend des outils spécifiques d'inspection des masques et des plaquettes, le traitement avancé des images, l'extraction automatisée des défauts, la reconstruction et le filtrage des images, et des rapports techniques complets. Le logiciel permet également une intégration facile avec d'autres systèmes automatisés utilisés dans le processus de production. Dans l'ensemble, ASM ISISP-189 est un outil puissant et fiable d'inspection automatisée des masques et des plaquettes. Il dispose de capacités avancées d'imagerie et de détection de défauts, de mesures de plaquettes très précises et d'excellentes technologies de filtrage. Avec sa suite logicielle robuste, le modèle est bien adapté pour la recherche et les applications industrielles.
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