Occasion ASM LBE 139H #9266307 à vendre en France

ASM LBE 139H est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est équipé d'un objectif de focalisation double et d'une caméra CCD haute résolution qui permet une capture d'image précise des plus petites caractéristiques dans les masques DUV et les plaquettes minces. Le système dispose d'une technologie logicielle d'analyse d'image qui permet la détection rapide et précise des défauts avec un degré élevé de précision. L'unité est capable de détecter les erreurs de marquage, les rayures, la poussière, l'oxyde et la contamination ainsi que d'autres particules ou matériaux à la surface des masques et des plaquettes. Il peut également détecter les erreurs de câblage, les motifs manquants, les défauts, les désalignements et les écarts de largeur de ligne. La machine peut également détecter avec précision des valeurs caractéristiques telles que le pas de masque ou de plaquette, la largeur de ligne et la largeur CD afin de mesurer la précision de la largeur de ligne et d'évaluer la qualité des masques et plaquettes. Il détecte également les ruptures ouvertes ou courtes, ainsi que les variations de largeur de ligne. De plus, l'outil peut examiner des informations non dimensionnelles telles que l'uniformité du film, la rugosité de surface et surveiller les tendances dans les conditions de gravure et de forage des plaquettes. L'actif dispose d'une large gamme d'inspection et d'une répétabilité élevée, ce qui en fait un outil efficace pour garantir la qualité des masques DUV et des plaquettes minces. Il est également équipé d'un module de mesure et d'analyse automatisé qui facilite une inspection rapide et précise de grands lots de masques ou de plaquettes. Le modèle est également capable de contrôler la vitesse de balayage de la zone d'inspection et de compenser les déformations dynamiques et statiques pour assurer une grande précision de mesure. Il produit également des images et des données précises dans les conditions de production et de laboratoire. De plus, l'équipement peut détecter des déformations résistantes et évaluer à la fois l'image et les défauts. Enfin, le système dispose d'une interface ergonomique conviviale, permettant un fonctionnement facile et efficace. Il comprend également des fonctions de support de maintenance telles que la lubrification, le nettoyage automatique périodique et la prévention de la condensation.