Occasion ASM TLB 139 #9299469 à vendre en France
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L'ASM TLB 139 est un puissant masque polyvalent et un équipement d'inspection des plaquettes. Il s'agit d'une solution complète pour caractériser les défauts dans les flux de procédés de production de semi-conducteurs. Le système peut rapidement identifier les anomalies dans les surfaces des plaquettes et mesurer la profondeur des défauts constatés à l'aide d'un microscope à longue distance de travail. En outre, il peut mesurer l'épaisseur des masques utilisés pour la production d'IC au niveau d'une plaquette. Avec un fort grossissement de 2000x, TLB 139 peut détecter de petites caractéristiques sur les masques et les plaquettes avec une grande précision et précision. L'appareil est équipé de deux caméras d'imagerie : une caméra à masque et une caméra à plaquettes. La caméra à masque est conçue pour l'imagerie haute résolution du masque, tandis que la caméra à plaquettes capture des images microscopiques des défauts sur les surfaces de plaquettes dans un grand champ de vision. La machine fournit une analyse précise des défauts avec des algorithmes intégrés de reconnaissance de motifs optiques. Il permet de distinguer les défauts potentiels des faux positifs en discriminant le substrat de fond des caractéristiques réelles. ASM TLB 139 fournit une variété de modes de visualisation tels que la polarisation, la lumière réfléchie et la lumière transmise. Grâce à ces différents modes, les utilisateurs peuvent observer la matière du masque et voir à travers le masque jusqu'à la surface sous-jacente de la plaquette. Les modes de visualisation de l'outil peuvent également être utilisés pour détecter des caractéristiques difficiles à voir sur un substrat lumineux. Le réglage automatique de la focalisation peut être utilisé pour la macro ou micro focalisation sur un domaine d'intérêt donné, et le balayage xy motorisé manuel peut être utilisé pour déplacer précisément l'actif de microscopie à des étapes encore plus petites pour une inspection plus détaillée. Le modèle permet une gestion intelligente et automatisée des données collectées, permettant des analyses rapides et faciles et le partage des résultats. Toutes les données collectées sont stockées dans un lecteur réseau partagé pour un examen ultérieur ou un diagnostic avancé. Le masque TLB 139 et l'équipement d'inspection des plaquettes sont également capables de charger et d'économiser des fonctions macro pour la réutilisation future ou la répétition avec différents paramètres. Cette caractéristique rend le système adapté à différents types de lignes de production.
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