Occasion APT 9145 EP #9124776 à vendre en France
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ID: 9124776
Acid spray
Cassette to cassette three nozzle spray system
Nitrogen dry temperature and spin RPM controls.
APT 9145 EP est un équipement de photorésistance conçu pour fournir la plus haute résolution de fixation de plaquettes dans la recherche, les semi-conducteurs, la microélectronique, les cellules solaires à couches minces et les appareils médicaux. Le système utilise des masques de projection prédéfinis avec des motifs d'éclairage qui permettent d'exposer le substrat en différents endroits pendant un seul cycle. Une telle projection permet de modeler sur le substrat des caractéristiques aussi petites que 42 nm. L'unité dispose d'une machine optique technologiquement avancée avec une lentille intégrée qui assure une uniformité et une précision optimales pour des applications de photolithographie exigeantes. L'outil est également livré avec une étape de mouvement réglable et un processus d'exposition entièrement automatisé pour des processus reproductibles et uniformes. L'actif utilise un moteur télécentrique à projection linéaire pour s'assurer que la focalisation et la taille du motif sont maintenues de façon constante sur chaque millimètre carré du substrat. Cela garantit que les motifs sont créés avec une précision constante. Le logiciel qui accompagne le modèle est convivial et aide les utilisateurs à optimiser les paramètres de l'équipement photorésist, donnant aux utilisateurs une multitude d'options quand il s'agit de la façon dont ils modèlent leurs substrats. De plus, le logiciel permet aux utilisateurs de stocker et de rappeler rapidement différents paramètres, permettant des résultats reproductibles et précis. En termes de post-traitement, le système dispose d'un certain nombre d'options qui aident à garantir que les substrats montés sont entièrement nettoyés des résidus tout en conservant une stabilité optimale du substrat. Les options comprennent l'utilisation de l'ozone, de l'haloforme et du dioxyde de soufre afin de nettoyer complètement le substrat avec un minimum de dommages. L'unité dispose également d'une machine de refroidissement à l'eau qui peut être utilisée pour stabiliser la température du substrat lors de l'exposition. Cet outil permet de réduire les dommages thermiques et de maintenir le substrat au frais pendant le traitement. En bref, APT 9145EP est un actif photorésist puissant et fiable qui offre aux utilisateurs une grande précision et précision pour une variété d'applications de traitement de substrat.
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