Occasion AXCELIS / FUSION R850 #9134042 à vendre en France

AXCELIS / FUSION R850
ID: 9134042
Taille de la plaquette: 8"
Rapid thermal anneal systems, 8".
AXCELIS/FUSION R850 est un équipement de photorésistance utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour réaliser des motifs de circuits sur substrats. C'est l'outil de bande de résistance le plus avancé disponible, fournissant une plate-forme très polyvalente pour stimuler l'innovation et la performance de fabrication. FUSION R850 utilise une lithographie avancée et des ensembles d'outils de gravure pour permettre à plusieurs matériaux de résister aux applications de bandes. Il dispose d'un système hybride Open-Loop/Closed-Loop Control pour répondre à des flux de processus complexes. L'algorithme Open-Loop Control permet aux utilisateurs de mieux contrôler le flux de processus en utilisant des algorithmes de contrôle prédictif pour compenser les variances entre les plaquettes dans l'exposition aux photorésistances et les performances de gravure. L'unité de contrôle en boucle fermée permet une métrologie couche à couche in situ avec rétroaction en temps réel pour garantir la répétabilité et la précision de la résolution d'image. Au cœur de la machine AXCELIS R850 se trouve FUSION propriétaire Open Process Champion Technology. Cet outil d'analyse logiciel fournit une analyse en temps réel des données de processus et des tendances qui peuvent être utilisées pour affiner les recettes et réduire les temps de cycle. Cette flexibilité dans l'optimisation des procédés ouvre la voie à des rendements plus élevés et à un meilleur contrôle de l'écoulement des procédés de bande de résistance. R850 outil supporte une large gamme de matériaux photorésistants. L'actif est capable de gérer les processus de microlithographie de niveau micron utilisés pour produire des dispositifs semi-conducteurs avec des fonctionnalités jusqu'à 20nm. En outre, il offre des rendements optimaux en utilisant des stratégies avancées d'élimination des particules et de détection automatisée des défauts de bande de résistance. Ce modèle de photorésist sophistiqué est conçu pour réduire les coûts, améliorer le flux de processus et augmenter les rendements. En optimisant les recettes, les équipements AXCELIS/FUSION R850 aident les fabricants à produire des dispositifs semi-conducteurs plus efficacement tout en améliorant la qualité du produit final.
Il n'y a pas encore de critiques