Occasion AXCELIS / FUSION R850 #9144806 à vendre en France

AXCELIS / FUSION R850
ID: 9144806
Taille de la plaquette: 8"
Rapid thermal anneal system, 8".
AXCELIS/FUSION R850 est un équipement de haute performance utilisé pour les procédés de lithographie. Le système combine plusieurs fonctionnalités pour fournir des résultats économiques, fiables et reproductibles pour les applications de lithographie critiques telles que la logique avancée, la mémoire et les applications d'affichage. Il est conçu pour répondre aux exigences les plus exigeantes du marché mondial pour le traitement des plaquettes, et son interface graphique facile à utiliser fournit au personnel de recherche, d'ingénierie et de production les informations dont ils ont besoin pour optimiser les caractéristiques souhaitées de l'appareil. FUSION R850 dispose d'une lampe au xénon haute fréquence, d'un contrôle rapide de l'exposition au TTL, d'une optique usinée de haute précision et d'une conception de contrôle environnemental avancée qui permet aux utilisateurs d'ajuster avec précision l'appareil. Ces composants se combinent pour fournir une photorésist très précise avec une résolution haute densité de 5,1 microns sur un masque 1k λ et une uniformité totale de l'outil de 0,5 % ou moins. L'atout fournit également une imagerie de contraste élevé pour les conceptions IC avancées et dispose d'une large gamme de capacités d'objectif, y compris des processus spécialisés tels que la lithographie de contact et la fixation de porte monocouche. De plus, le modèle intègre des capacités automatisées de détection des paramètres et de chargement des plaquettes, qui minimisent l'intervention des utilisateurs et permettent des augmentations de débit allant jusqu'à 30 %. Son équipement de contrôle d'exposition avancé comprend un module GPSM dynamique optionnel, permettant aux utilisateurs de gérer avec précision les paramètres du système en temps réel, permettant la plus grande répétabilité des résultats. Pour assurer une efficacité maximale lors du traitement des plaquettes, AXCELIS R850 dispose d'un Loadlock optionnel, permettant aux utilisateurs de transférer et de stocker jusqu'à dix cassettes de plaquettes dans l'unité avant la programmation, permettant un fonctionnement continu sans intervention de l'opérateur. De plus, la machine dispose également d'un mécanisme de cassette à chaud, qui permet aux opérateurs de sortir des cartouches avec des plaquettes pendant le fonctionnement de l'outil. La compatibilité de l'actif avec PCS Process Planning Software garantit des caractéristiques et des rendements de production optimaux lorsqu'il est utilisé en combinaison avec R850. Ces caractéristiques, combinées à sa fiabilité et à son rapport coût-efficacité, font du modèle photorésist AXCELIS/FUSION R850 le choix de nombreux professionnels de l'industrie nécessitant des résultats de lithographie précis et des rendements de haute qualité. Ses caractéristiques supérieures garantissent que ses utilisateurs sont bien préparés aux exigences d'un marché mondial des IC en évolution rapide.
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