Occasion BUHLER / LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION #293771029 à vendre en France
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ID: 293771029
Optical coating machine
Stainless steel chamber
Optical monitoring system
(2) Polarization filters
Water cooled
Water distribution system (Warm / Cold)
Calorimetric water flow sensor
Electrical cabinet
Graphical User Interface (GUI)
TFT Touch screen, 19"
Uninterruptible Power Supply (UPS)
Remote service system
Material: Stainless steel
Vacuum pump
High vacuum flange size: DN500
Pumping capacity: 300 m³/h
Final pressure: 5x10-3 mbar
Cryo pump type: Coolvac 10000 iCL
Compressor unit type: Coolpak CP 6000
Gas flow range: 1.6-300 SCCM
LION 300 RF-Plasma source
Line voltage: 3 AC 400 V / 230 V
Frequency: 50 Hz
Substrate drive:
Adjustable speed range: 3-33 1/min
Rated power: 25 kW
Substrate load: 250 kg
Substrate heater:
Heater power: 52 kW
Temperature: 300°C
Chamber:
Inner diameter: 350 mm
Inner height: 1550 mm
Features:
Manual mode (Preparation service and maintenance) / Automatic mode (Machine / Process control)
Electron beam evaporator:
Deflection: 270°
Power: 6 kW
Crucible diameter: 320 mm
Floor space: 35 m²
Power supply: 10 kW, 13156 MHz, 1000 mA, AC 0-6 V.
BUHLER/LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION est un équipement de haute performance conçu pour des applications avancées de fabrication de semi-conducteurs. Ce système offre des capacités de traitement photorésistantes précises et fiables, ce qui en fait une solution idéale pour la fabrication de circuits intégrés, de dispositifs MEMS et d'autres composants microélectroniques. Au cœur de l'unité BUHLER Syrus Pro 1350 LION se trouve sa technologie de lithographie de pointe, qui permet la fixation précise des couches de photorésist sur les substrats semi-conducteurs. La machine dispose d'un alignement de masque haute résolution avec une précision d'alignement de sous-microns, permettant la création de motifs complexes et complexes avec une précision exceptionnelle. Cette capacité est essentielle pour atteindre les tolérances dimensionnelles serrées requises dans les procédés modernes de fabrication de semi-conducteurs. Une des caractéristiques clés de l'outil LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION est sa capacité à accueillir une large gamme de matériaux de résines photosensibles, y compris des résistances au ton positif et négatif. Cette flexibilité permet aux fabricants de semi-conducteurs de choisir la résine photosensible la plus adaptée à leurs exigences spécifiques, optimisant les performances et le rendement des dispositifs. La compatibilité de l'actif avec diverses formulations photorésistantes améliore également sa polyvalence et son applicabilité à divers scénarios de fabrication. Le modèle LION Syrus Pro 1350 est équipé d'un équipement avancé d'exposition aux UV, doté de sources lumineuses de haute intensité et de mécanismes précis de contrôle de l'exposition. Ceci assure une exposition uniforme et cohérente des couches de photorésist à travers le substrat, minimisant les variations dans la qualité du motif et la précision dimensionnelle. Les paramètres d'exposition du système peuvent être ajustés finement pour répondre aux exigences de traitement spécifiques des différents matériaux photorésistants, obtenant des résultats optimaux de mise en oeuvre avec une répétabilité élevée. En plus de ses capacités de lithographie, l'unité BUHLER/LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION offre une gamme de fonctions auxiliaires pour un traitement efficace des photorésistances. Il s'agit notamment de la robotique intégrée de manutention des plaquettes pour le chargement et le déchargement automatisés des substrats, ainsi que d'une interface utilisateur complète pour la programmation et la surveillance des paramètres des processus. Grâce à sa conception conviviale et à son fonctionnement intuitif, les fabricants de semi-conducteurs peuvent facilement configurer et exécuter des séquences de traitement photorésistantes avec un minimum de formation et de supervision. L'outil BUHLER Syrus Pro 1350 LION est conçu pour des environnements de production à haut débit, avec des temps de cycle rapides et des capacités de gestion de flux de travail efficaces. Sa construction robuste et ses performances fiables garantissent une exploitation continue et une stabilité à long terme, minimisant les temps d'arrêt et maximisant la productivité. Sa conception modulaire permet également des mises à niveau et des options de personnalisation faciles pour tenir compte de l'évolution des exigences des processus et des progrès technologiques dans la fabrication de semi-conducteurs. Dans l'ensemble, le modèle photorésist LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION représente une solution de pointe pour les fabricants de semi-conducteurs qui recherchent une précision, une fiabilité et une polyvalence inégalées dans le traitement des photorésistances. Avec sa technologie de lithographie avancée, sa compatibilité avec une variété de matériaux photorésistants et ses fonctions d'automatisation complètes, l'équipement Syrus Pro 1350 LION offre une solution complète pour obtenir des dispositifs semi-conducteurs de haute qualité avec des caractéristiques de performance supérieures.
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