Occasion BUHLER / LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710 #293741528 à vendre en France
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ID: 293741528
Taille de la plaquette: 6"-8"
Style Vintage: 2007
Coating machine, 6"-8"
Chamber, 700 mm
Control system
POLYCOLD PFC 672 Cooling system
Meissner trap
Evaporation shielding set
DP250A Oil-free vacuum pump
DP80 Single stage screw pump
Root pump
TPH 2101 Turbomolecular pump with automatic sequence control and interlock
Process gas with pressure control (oxygen)
Substrate drive
Single flat plate substrate holder, 6"-8"
Uniformity mask
Substrate heater ceramic, 5.2 kW
PIAD (Plasma Ion Assisted Deposition Sources)
Advanced plasma source
Anode tube
Tool set
LaB6 Cathode
(2) Spare ceramic rings
Graphite heater
Crucible 1- pocket 102/17 for HPE 6
Electron beam evaporator
XMS Quartz crystal measurement system
(10) Quartz Crystals
XMS Dual quartz crystal sensor head
Electrical power connection: 60 Hz
2007 vintage.
BUHLER/LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710 est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour des applications avancées de fabrication de semi-conducteurs. Cet outil de précision est un composant essentiel dans la réalisation de dispositifs électroniques tels que circuits intégrés, microprocesseurs et puces mémoire. BUHLER SYRUSpro 710 offre une précision, une répétabilité et une efficacité inégalées dans le processus de photolithographie, permettant aux fabricants d'obtenir des rendements plus élevés et des performances d'appareil supérieures. Au cœur de LEYBOLD OPTICS SYRUS PRO 710 se trouve son système optique de pointe, qui utilise des technologies de pointe pour fournir des capacités exceptionnelles de résolution et d'alignement. L'unité dispose d'une source lumineuse haute performance, d'une optique précise et d'algorithmes d'alignement sophistiqués pour assurer la fixation précise des matériaux photorésistants sur les substrats semi-conducteurs. La machine est capable d'atteindre une résolution de sous-microns, ce qui la rend idéale pour produire des appareils de plus en plus petits. SYRUSpro 710 offre une gamme de fonctionnalités et de capacités qui en font un outil polyvalent pour la fabrication de semi-conducteurs. Une caractéristique clé est sa capacité multi-longueurs d'onde, permettant aux utilisateurs de choisir différentes longueurs d'onde de la lumière en fonction des exigences du processus ou du matériau spécifique utilisé. Cette flexibilité permet à l'outil de s'adapter à un large éventail d'applications et de matériaux, améliorant son utilité et sa rentabilité. En plus de son atout optique avancé, BUHLER SYRUS PRO 710 est équipé d'un modèle d'automatisation sophistiqué qui simplifie le processus de photolithographie et minimise l'erreur humaine. L'équipement dispose de commandes logicielles intelligentes qui permettent aux utilisateurs de programmer des modèles d'exposition complexes avec facilité et précision. Cette capacité d'automatisation non seulement améliore la productivité, mais assure également des résultats cohérents et reproductibles, critiques pour la fabrication de semi-conducteurs à haut volume. BUHLER/LEYBOLD OPTICS SYRUS PRO 710 est conçu pour des environnements de production à haut débit, avec des fonctionnalités qui optimisent l'efficacité et réduisent les temps de cycle. Le système intègre un étage à grande vitesse pour le positionnement et l'exposition rapides du substrat, minimisant les temps d'arrêt et maximisant le débit de production. En outre, l'unité est équipée de capacités de manutention avancées des plaquettes, y compris des systèmes automatisés de chargement et de déchargement, améliorant encore sa productivité et son évolutivité. L'un des principaux avantages de SYRUS PRO 710 est sa fiabilité et sa stabilité, garantissant des performances constantes sur de longues périodes de fonctionnement. La machine est conçue pour fonctionner en salle blanche, avec une construction robuste et des dispositifs avancés de contrôle de la contamination pour maintenir l'intégrité du processus de photolithographie. Cette fiabilité est essentielle pour les fabricants de semi-conducteurs cherchant à obtenir des rendements élevés et une qualité constante des dispositifs. Dans l'ensemble, LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710 établit une nouvelle norme pour la photolithographie de précision dans la fabrication de semi-conducteurs. Avec son outil optique de pointe, ses capacités d'automatisation et sa conception à haut débit, l'actif offre des performances et une polyvalence inégalées pour la production d'appareils électroniques de nouvelle génération. Les fabricants de semi-conducteurs peuvent compter sur BUHLER/LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710 pour répondre à leurs exigences les plus exigeantes et obtenir des performances supérieures de l'appareil d'une manière rentable et efficace.
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