Occasion CANON CDS-650 #9111287 à vendre en France
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CANON CDS-650 est un équipement de photorésistance utilisé pour former des motifs de couches minces sur des semi-conducteurs. Le système dispose d'une unité optique supérieure qui est capable de produire des motifs haute résolution avec une précision submicronique. La machine utilise une nouvelle solution de photolithographie basée sur une combinaison unique de lampes UV à ondes longues et courtes. CDS-650 a une taille maximale du substrat de 300mmx300mm. L'outil utilise un alignement de masque litho CeASTAR-300 avec imagerie à travers l'objectif et une caméra CCD 1024 x 1024 pixels avec une plage dynamique de 10 bits pour permettre un alignement de haute précision des photomasques. CANON CDS-650 a des têtes de positionnement à LED coaxiales qui offrent une précision de sous-micron pour un alignement précis. CDS-650 utilise une technologie avancée de microscopie confocale à balayage laser CANON LEXT OLS 4000 pour fournir une excellente résolution et fidélité de motif. L'actif peut atteindre des tailles de caractéristiques minimales de 0,25 microns, ce qui signifie qu'il est adapté pour les applications microélectroniques. La solution photorésistante du modèle est basée sur des réactifs qui contiennent les composés photoactifs très réactifs (PACs) nécessaires à l'imagerie haute résolution. Ces PACs sont adsorbés à la surface du substrat, permettant une irradiation rapide et uniforme de la résine photosensible. CANON CDS-650 utilise ce procédé unique pour former des motifs de films minces avec une résolution impressionnante. L'équipement dispose également de plusieurs fonctionnalités conçues pour améliorer la sécurité des utilisateurs. Un système de chargement automatique des plaquettes permet une manipulation facile et sûre des plaquettes. Un dispositif d'interception de sécurité empêche l'exposition aux ultraviolets (UV) à l'extérieur de la zone de traitement des photorésistances. De plus, la machine dispose d'un moniteur de sécurité pour alerter les opérateurs lorsque les niveaux d'exposition aux UV sont en dehors de la plage acceptable. Pour garantir des résultats constants de haute qualité, CDS-650 utilise un obturateur programmable pour refuser l'exposition aux rayons UV aux plaquettes au besoin. Cet obturateur permet également de minimiser les niveaux d'exposition aux UV. De plus, l'outil dispose d'un système intégré de ventilation des gaz d'échappement et d'un module de contrôle des gaz d'échappement pour garantir que les vapeurs dangereuses sont évacuées en toute sécurité. Dans l'ensemble, CANON CDS-650 est un modèle de résine photosensible fiable capable de former des motifs de couches minces avec une résolution et une précision de premier ordre. Son équipement optique supérieur, sa solution photorésistante à base de réactif et ses caractéristiques de sécurité pour les utilisateurs font de ce système un choix idéal pour des applications de microélectronique exigeantes.
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