Occasion COBURN Stratum #9244709 à vendre en France
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ID: 9244709
Hard coater system
Coats and cures
1-5 Lenses at one time
Power: 220/110 V.
COBURN Stratum est un équipement de photorésistance qui utilise une combinaison de techniques optiques et lithographiques avancées pour créer des structures tridimensionnelles de haute qualité sur le dessus d'un substrat. Il a été utilisé pour de nombreuses applications dans les dispositifs semi-conducteurs et micro-électromécaniques (MEMS). Le système se compose de deux composants principaux, l'illuminateur et l'unité de balisage, qui jouent chacun un rôle important dans l'obtention des résultats souhaités. Tout d'abord, l'illuminateur fournit au substrat une exposition uniforme de la lumière d'une longueur d'onde spécifique. Cette longueur d'onde pourrait être de UV au vert, selon le type de photorésist utilisé. La lumière doit être uniforme pour fournir un moyen fiable de réaliser le motif désiré. L'illuminateur peut également être utilisé pour modifier l'exposition en fonction du niveau de détail requis dans le motif. En second lieu, l'unité de préhension comprend un pochoir, un masque, des micro-lentilles et une unité d'alignement. Le pochoir est utilisé pour dessiner le motif sur un substrat qui a été exposé à la lumière de l'illuminateur. Le masque est utilisé pour transférer le motif désiré sur la surface du substrat ou du substrat. Un micro-objectif est placé sur le motif pour diminuer la taille des caractéristiques sur le motif résultant. La machine d'alignement assure la précision du placement du masque et du substrat final. Une fois le masque en place, une exposition à la lumière est donnée au substrat. Pour ce faire, on utilise soit un laser, soit une technique d'exposition aux inondations. Après exposition, l'excès de résine photosensible est éliminé à l'aide d'un révélateur. Le révélateur contient des produits chimiques qui retirent la résine photosensible du substrat mais laissent intact le motif désiré. Pour finaliser le procédé, on peut encore modifier le motif en utilisant une technique de gravure ou de dépôt. Stratum est un outil photomasque puissant et polyvalent. Il a été utilisé dans un large éventail d'applications, y compris les dispositifs semi-conducteurs, les dispositifs MEMS et les composants optoélectroniques. Il est rentable et dispose d'un délai d'exécution court, ce qui est un grand avantage pour les projets sensibles aux coûts.
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