Occasion DNS / DAINIPPON 80B #9243276 à vendre en France

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Fabricant
DNS / DAINIPPON
Modèle
80B
ID: 9243276
(2) Coater / (3) Developer system (4) Load ports IDI Pumps.
DNS/DAINIPPON 80B est un système photorésist révolutionnaire spécialement conçu pour fournir des performances supérieures dans la production de dispositifs à l'échelle des plaquettes. Il s'agit d'un procédé chimique-mécanique amélioré qui combine un lavage chimique, un recuit à basse température à l'échelle nanométrique et une méthode de lithographie d'empreintes pour conférer d'excellentes propriétés de résolution et d'adhésion aux couches diélectriques dans la production de micro- et nano-structures. Le procédé chimique implique l'élimination des oxydes natifs de la surface de la plaquette afin de créer une couche propre et adhérente, assurant une liaison idéale entre la résine photosensible et la couche du dispositif. Le recuit à basse température nanométrique augmente la stabilité et l'homogénéité de la couche du dispositif par verrouillage dans les caractéristiques souhaitées. En combinaison avec une technique de lithographie d'empreintes, le système DNS 80B aide à produire des dispositifs d'échelle de plaquettes, avec des résolutions extrêmement fines jusqu'à 55nm. Cette technique combine une couche de résine photosensible ultra-sensible avec un modèle de conception très avancé. La résine photosensible est appliquée par un procédé avancé de spin-coating et est exposée à de brèves impulsions de lumière pour déterminer précisément le motif et les structures correspondantes qui seront produites. En raison de la faible température d'activation, les zones exposées sont refroidies immédiatement après l'exposition. Cela permet un meilleur contrôle des motifs, la précision de l'enregistrement et la qualité des bords, tout en bénéficiant de faibles fuites électriques. De plus, un procédé de gravure bien contrôlé permet de réaliser des dispositifs avec des largeurs de lignes étroites et des caractéristiques très uniformes. Enfin, la résine photosensible est dépouillée dans un solvant chimique, permettant l'application de la couche du dispositif. En résumé, le système photorésist DAINIPPON 80B s'est avéré être un processus robuste et fiable, produisant des dispositifs d'échelle de plaquettes avec des performances améliorées. Son procédé chimique-mécanique amélioré, combiné à une méthode de lithographie avancée, garantit une résolution extrêmement fine et de superbes propriétés d'adhésion. Cela garantit des dispositifs de haute performance avec une homogénéité supérieure et des largeurs de ligne serrées.
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