Occasion DNS / DAINIPPON SC-80BW-AV #9235507 à vendre en France
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ID: 9235507
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2002
Coater system, 6"
2002 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-80BW-AV Photoresist Equipment est un système entièrement automatisé de traitement des plaquettes à grande vitesse. L'unité se compose de quatre composantes principales : un transport de plaquettes, une unité spin-coat, une unité d'exposition et une unité de développement. Le transport de la plaquette déplace le substrat du chargeur de la plaquette vers l'unité spin-coat. L'unité spin-coat est un dispositif de haute précision conçu pour répartir uniformément un matériau de résistance sur le substrat. L'unité d'exposition contient une source de lumière UV utilisée pour exposer sélectivement les zones structurées de la plaquette recouverte de résine. Il est également équipé d'un étage tournant pour faciliter l'exposition de ces zones structurées. L'unité de développement est conçue pour enlever les parties exposées et non exposées de la résistance. DNS SC-80BW-AV Photoresist Machine est un outil très précis conçu pour réduire les défauts et augmenter le débit. L'actif est équipé d'un modèle direct de détection et de réglage d'image (DISA) pour assurer une exposition très précise de la zone structurée du substrat. L'équipement direct de détection et de réglage de l'image surveille le mouvement de la plaquette, puis ajuste l'exposition de la source de lumière UV en conséquence. Ce système permet de réduire les défauts associés à un revêtement inégal de la résine, augmentant ainsi le débit et la qualité du produit. L'unité est également équipée d'une machine de remplacement automatique de la résistance (ARRS) pour assurer le plus haut niveau de performance du matériau de résistance. L'ARRS surveille en permanence l'exposition au substrat, la température et l'humidité. Il ajuste alors automatiquement la concentration et la composition du matériau de résistance pour assurer le plus haut niveau de performance. En outre, l'outil est équipé d'un atout d'imagerie thermique dynamique (DTI). Ce modèle est conçu pour détecter et mesurer l'activité thermique sur le substrat revêtu, puis ajuster la température de l'ensemble spin-coat en conséquence. Ceci permet de réduire le risque de formation de défauts dus à un échauffement ou à un refroidissement inégaux du substrat. Dans l'ensemble, DAINIPPON SC-80BW-AV Photoresist Equipment est un puissant système de traitement automatisé des plaquettes conçu pour garantir une qualité de produit supérieure avec un débit maximal. Sa combinaison de détection et de réglage directs de l'image, de remplacement automatique de la résistance et de systèmes dynamiques d'imagerie thermique permet de réduire les défauts, d'optimiser le débit et de maximiser l'efficacité du matériau de résistance.
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