Occasion DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #9248933 à vendre en France

DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV
ID: 9248933
Taille de la plaquette: 4"
Coater, 4".
DNS/DAINIPPON SC-W60A-AV est un équipement photorésistant de pointe utilisé pour fabriquer des circuits intégrés et de la microélectronique. Le système est basé sur un outil de lithographie par faisceau électronique en écriture directe. Il est capable d'écrire avec précision sur des plaquettes revêtues de photorésist en utilisant la résolution sous-micron disponible du faisceau d'électrons. L'unité comprend également des logiciels pour la conception, la mise en page des motifs et le contrôle. Le faisceau d'électrons DNS SCW-60A-AV permet à la fois des opérations d'écriture continue et des opérations par lots. En écriture continue, le faisceau d'électrons est utilisé pour exposer directement la photorésist à une vitesse constante pour créer un motif de bande continue. En mode lot, un ensemble de motifs uniques peut être créé, la déflexion du faisceau d'électrons générant le motif sur la plaquette. La machine est équipée d'un outil d'optique intégré qui se compose d'un objectif, d'une source d'électrons et d'un circuit électro-optique dédié. Cet atout optique est utilisé pour focaliser le faisceau d'électrons, permettant d'utiliser une gamme de résolutions différentes. Le modèle optique ajuste automatiquement le faisceau d'électrons pour maintenir une focalisation constante sur la zone exposée. DAINIPPON SCW 60A AV est capable d'écrire des motifs avec une largeur de ligne minimale de moins de 0,8 microns et une taille de caractéristique minimale de 0,4 microns. En outre, le faisceau d'électrons peut être programmé avec précision pour produire des motifs de raies avec un pas spécifié. Cette capacité assure que le photorésist est exposé à des niveaux précis d'énergie électromagnétique, d'où des motifs avec une grande fidélité. DNS SC-W60A-AV comprend également un équipement de contrôle conçu pour optimiser les performances lorsqu'il est utilisé en production. Son logiciel comprend des fonctionnalités telles que la vérification de la taille des motifs et l'auto-nivellement. Cela permet de produire des motifs précis et reproductibles. Le système comprend également un certain nombre de dispositifs de sécurité. Ses enceintes à gaz sont équipées de transducteurs de pression, d'électrovannes et de soupapes de sécurité de pression d'urgence, ce qui permet de réduire au minimum les risques potentiels liés à l'utilisation de la lithographie par faisceau d'électrons. Dans l'ensemble, SC-W60A-AV est une unité de photorésistance puissante, fiable et sûre pour créer des circuits intégrés complexes et des conceptions de microélectronique. Ses capacités de lithographie de faisceaux d'électrons en écriture directe, sa machine d'optique intégrée et ses fonctions de contrôle permettent de produire des motifs précis, précis, reproductibles et sûrs avec un maximum d'efficacité.
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