Occasion DNS / DAINIPPON SC-W60A-AVQ #9148298 à vendre en France
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DNS/DAINIPPON SC-W60A-AVQ est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour le développement de la microfabrication de haute précision dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système est capable d'appliquer un matériau photorésist sur la surface d'une plaquette avec un motif de revêtement uniforme, précis et répétable. Il peut également créer une ligne uniforme et précise le long des bords contournés d'un photomasque. L'unité dispose d'une machine automatique d'alignement mécanique pour assurer la précision et la répétabilité de l'application photorésist. Cela comprend un lecteur d'image, un outil de vision intégré, un étage rotatif, une échelle linéaire, et divers systèmes de codeur. L'actif est également équipé d'un contrôleur logique programmable (PLC) de pointe pour les fonctions de télécommande et de surveillance. Le modèle est conçu pour être facile à utiliser, avec une interface graphique conviviale et une empreinte compacte. En outre, il intègre des fonctionnalités de support avancées, telles que des fonctions d'optimisation répétables axées sur les processus, un équipement de gestion des recettes et un système embarqué de traitement et de stockage des données. L'unité est également capable d'appliquer une large gamme de photorésists avec différentes viscosités, températures de processus et caractéristiques. Il est équipé d'une machine à double pompe, lui permettant de fournir les volumes exacts de matériau photorésist nécessaires pour produire la géométrie désirée. L'outil à double pompe offre également un tampon contre la contamination des matériaux due au surpuissement. DNS SC-W60A-AVQ est également équipé d'un certain nombre de fonctionnalités avancées pour la précision et la précision. Il s'agit notamment d'un capteur de substrat avancé pour mesurer les déformations de la surface du substrat et d'un étage de substrat horizontal avancé permettant un mouvement vertical et latéral simultané. L'actif est également capable de traiter de grandes quantités de matériaux photorésistants. Il est conçu pour pouvoir traiter jusqu'à six plaquettes simultanément. Le modèle dispose également d'un équipement avancé de filtration de recirculation qui contribue à assurer la qualité du matériau photorésist en cours de traitement. Enfin, DAINIPPON SC-W60A-AVQ est conçu pour la production de dispositifs photorésistants très précis et reproductibles. Il est conçu pour les applications les plus exigeantes de microfabrication et de semi-conducteur, offrant le maximum de précision et de répétabilité.
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