Occasion DNS / DAINIPPON SC-W60A #9115318 à vendre en France

ID: 9115318
Taille de la plaquette: 6"
(2) Coaters, (2) C, (2) AD, (4) HP, (2) CP.
DNS/DAINIPPON SC-W60A Photoresist Equipment est une solution complète pour le développement, l'exposition et la gravure de couches de photorésist ultra-minces utilisées dans la fabrication de semi-conducteurs. DNS SC-W60A combine un alignement de faisceau d'exposition de haute précision, des masques d'exposition à recouvrement réglable, ainsi qu'un positionnement de plaquette de haute précision et un maintien sous vide pour fournir des résultats de traitement photorésistants supérieurs. L'architecture du système repose sur une unité de positionnement de haute précision à trois axes, composée d'une base, d'un étage incliné et d'un joint de poignet, qui permettent de placer exactement chaque plaquette dans un poste de travail à masque. Cette machine est conçue pour assurer un recouvrement exact des couches de masque, et est réglable pour accueillir n'importe quelle tranche de taille. De plus, afin d'assurer une uniformité maximale, DAINIPPON SCW-60A exploite un tableau d'exposition modélisé, qui profite d'un scanner de niveau supérieur et inférieur pour créer des images de haute qualité. En outre, cet outil est spécialement conçu pour garantir que chaque surface de plaquette est totalement exempte de particules. Pour optimiser autant que possible les couches photorésistantes, DNS SCW-60A utilise un atout de distribution haute pression, qui utilise un obturateur mécanique pour souffler la pression à différents niveaux. Ce procédé contrôlé permet de s'assurer que les motifs photorésistants adhèrent uniformément aux substrats. De plus, un modèle de focalisation automatique est mis en œuvre pour désactiver les particules et surveiller l'ensemble du processus, tandis qu'une chambre en acier inoxydable résistant à la corrosion permet d'assurer la précision lors d'une utilisation continue. Lors de la gravure, DNS/DAINIPPON SCW-60A utilise un générateur RF et une source chimique pour effectuer une gravure ionique réactive à haute performance. Le générateur RF est conçu pour produire une onde haute fréquence, qui est ensuite envoyée à la plaquette pour créer une réaction dans laquelle des ions dans la chambre sont attirés vers la plaquette, puis créer des motifs dans la résine photosensible. La source chimique assure une gravure rapide et précise. Afin d'assurer l'exactitude et des résultats de haute qualité, SCW-60A est conçu pour surveiller chaque processus. L'équipement dispose de plusieurs capteurs et équipements qui permettent de suivre les dépôts de particules, la température, la pression, les couches de photorésist et les concentrations de gravure, et d'afficher automatiquement les résultats sur un moniteur LCD. De plus, un système d'appariement basé sur algorithme assure que chaque plaquette adhère précisément au motif prédéterminé. Dans l'ensemble, DAINIPPON SC-W60A Photoresist Unit est un excellent choix pour les fabricants de semi-conducteurs qui ont besoin de résultats précis et de qualité lors de leurs processus de photorésistance et de gravure. En tirant parti des composants de haute précision de la machine, des systèmes de surveillance précis et des processus automatisés, les utilisateurs peuvent être sûrs de travailler avec une solution photorésist fiable et avancée.
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