Occasion DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVQ #188553 à vendre en France

DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVQ est un équipement de photorésistance, composé d'un outil de traitement modulaire qui peut supporter plusieurs types d'applications de photolithographie, y compris l'imagerie à masque unique et l'imagerie à double masque (DM). Le système a été conçu spécifiquement pour répondre aux exigences des procédés avancés de lithographie des semi-conducteurs, offrant une solution d'imagerie reproductible de haute précision capable de produire des caractéristiques de ∅40 nm ou moins. L'unité est équipée d'une capacité de projection laser à la fine pointe de la technologie (LPL), capable de générer une précision d'enregistrement et d'imagerie de sous-microns. Il est également capable de produire des repères d'alignement précis avec une précision de recouvrement fiable à moins de 3 nm au mieux. Le composant principal de la machine est l'objectif de projection, qui est conçu pour projeter une image haute résolution sur la plaquette, avec une taille de champ efficace jusqu'à 335 mm. L'outil de lentille utilise une ouverture numérique élevée (NA) de 0,82, ce qui permet une grande profondeur de mise au point et une haute résolution. L'actif dispose également d'un étage motorisé, qui permet un contrôle précis de l'alignement et de la position de l'image sur la plaquette. L'étage utilise une paire d'axes moteurs linéaires de précision, permettant un alignement entièrement automatisé de l'image et de la plaquette. De plus, le modèle dispose également d'un environnement contrôlé par la température pour s'assurer que la résine photosensible est correctement exposée à la dose désirée. DNS SC-W80A-AVQ comprend également une interface outil sophistiquée qui fournit une large gamme de fonctionnalités conviviales. Il comprend la possibilité d'accéder aux recettes préprogrammées et de surveiller l'état des processus, ainsi que l'optimisation automatique des processus et les paramètres qui peuvent s'adapter automatiquement aux types de résistance et de substrat changeants. Il comprend également des caractéristiques uniques telles que l'ajustement de courbe, qui permet à l'équipement de s'adapter aux changements dans les caractéristiques de résistance, et une capacité de contrôle d'exposition ultra-précis qui est capable d'effectuer des ajustements de dose précis en utilisant des techniques d'exposition prédictive avancées. Dans l'ensemble, DAINIPPON SCW-80A-AVQ est un système de photorésistance avancé conçu pour offrir une solution d'imagerie fiable et précise pour les procédés avancés de lithographie des semi-conducteurs. Il est équipé d'un objectif de projection de haute précision, d'un étage motorisé, d'un environnement contrôlé par la température, d'une interface outil robuste et de plusieurs fonctionnalités avancées qui peuvent améliorer la précision et la répétabilité des processus.