Occasion DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVP #293705458 à vendre en France
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ID: 293705458
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
(2) Developer system, 8"
1994 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVP est un équipement de revêtement photorésist à haute vitesse conçu pour le traitement des plaquettes. Le système peut enduire de 0,1 µm d'épaisseur jusqu'à 3 mm en une seule couche et jusqu'à 4,0 mm en deux couches de résine photosensible. Cela rend l'unité adaptée à un large éventail d'applications telles que la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, de capteurs et de dispositifs MEMS. La machine se compose d'un cadre mécanique modulaire, d'un distributeur de photorésist, d'une buse de haute précision, de tables tournantes asservies multi-axiales, de systèmes de commande et d'un porte-plaquettes. Le cadre mécanique assure un haut niveau de précision sur de grandes surfaces, et les tables tournantes déplacent le porte-plaquettes permettant des mouvements de revêtement précis dans n'importe quelle orientation. En outre, l'outil de commande fournit un mouvement multi-axes précis et répétable à travers diverses résolutions, permettant un contrôle précis du revêtement. Le distributeur de photorésist fonctionne à partir d'une chaíne et d'actifs pneumatiques et peut injecter plusieurs photorésists dans la buse en même temps pour permettre le multicouche. Cela aide à augmenter la vitesse du processus de revêtement tout en minimisant le gaspillage. Le distributeur contient également jusqu'à huit boîtes de résine photosensible, ce qui permet des changements rapides et faciles entre les applications. La buse de précision est conçue pour assurer une couverture cohérente, des défauts minimes et une excellente uniformité de couche sur la plaquette. Il est également conçu pour assurer une faible turbulence, ce qui contribue à prévenir les défauts de fonctionnement et les émissions photoacoustiques. La buse est très réglable et peut être utilisée pour définir une variété de paramètres de revêtement, y compris la viscosité des résidus et des photorésistants. DNS SDW-80A-AVP est un modèle de revêtement photorésist fiable et efficace adapté à une large gamme d'applications de fabrication de plaquettes. Cet équipement offre d'excellentes performances et est capable de fournir des résultats reproductibles et de haute qualité en peu de temps. Avec sa grande vitesse, sa précision et sa polyvalence, ce système est un excellent choix pour tous les besoins de traitement des plaquettes.
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