Occasion DNS / DAINIPPON SK-60A-BVP #195914 à vendre en France
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L'équipement photorésist DNS/DAINIPPON SK-60A-BVP est un système de lithographie avancé conçu pour des capacités de traitement de volume élevé. Il s'agit d'un outil monobloc capable de traiter une gamme de substrats tels que le quartz, le silicium et le verre. L'unité utilise un procédé très sophistiqué de PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) et une technique de double exposition. La méthode de double exposition permet l'exposition simultanée de deux couches photorésistantes différentes sous des angles différents. Il en résulte une efficacité accrue et des caractéristiques de gravure plus uniformes. DNS SK-60A-BVP utilise un spinner à lévitation magnétique et un chargeur automatisé pour améliorer le contrôle du substrat. Il utilise un faisceau laser haute performance, 100kHz pour une plus grande précision dans l'imagerie et l'écriture. La machine utilise une variété d'optiques d'imagerie avancées avec une énergie maximale d'exposition aux photons allant jusqu'à 600W. Sa chambre utilise un environnement sans pression et un outil séparé pour refroidir la chambre et le substrat. DAINIPPON SK-60A-BVP dispose d'une optimisation de l'obturateur programmable variable, permettant des motifs de gravure précis et d'augmenter le débit. Il est également capable de produire une variété de caractéristiques, y compris des motifs de trous de contact et sans contact, lithographie d'angle, et corrections d'exposition. L'actif dispose également d'un modèle avancé de détection des points chauds, lui permettant de détecter les zones défectueuses dans les photorésists, permettant un rendement plus élevé et moins de défauts. En outre, l'équipement est équipé d'un système d'asservissement avancé pour améliorer la précision des processus d'exposition multiple et permet la mise en œuvre de géométries complexes. SK-60A-BVP est une unité très conviviale avec une interface graphique intuitive et un logiciel facile à utiliser. Ses caractéristiques de sécurité intégrées contribuent à assurer la protection du personnel et des équipements. C'est une solution idéale pour une variété d'industries, y compris les semi-conducteurs, les appareils médicaux, les circuits imprimés et les technologies MEMS. Sa grande vitesse, sa précision et sa précision en font un excellent choix pour les applications à haut volume.
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