Occasion DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #9298993 à vendre en France
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DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPE est un équipement de résistance photosensible aux ultraviolets profonds (DUV) développé par DNS Screen. Ce système maintient un haut niveau de performance avec sa productivité intégrée, la fiabilité et la précision qui est nécessaire pour les applications axées sur la technologie dans l'industrie des semi-conducteurs. Le DNS SK-80BW-AVPE utilise une unité automatisée d'inspection avant exposition visuelle (AVPE) pour s'assurer de l'alignement exact des plaquettes avant le processus de lithographie. Cette machine utilise une technologie de diode laser TTL pour détecter l'alignement des bords et du centre, ainsi que des inspections de défauts de maille d'acier. De plus, son zoom optique motorisé lui permet de régler avec précision la taille de la plaquette et l'alignement du centre en même temps. Les inspections sont effectuées avec un taux de pixel de 500/sec, ce qui lui permet de détecter les microstructures les plus petites à la plage de couverture de 75mm x 75mm. DAINIPPON SK 80BW AVPE dispose d'un illuminateur DUV embarqué qui délivre la dose optimale de lumière DUV, avec une dose maximale de 4 mJ/cm2, à une longueur d'onde comprise entre 300 et 340 nm. Cet outil dispose également d'un atout d'automatisation photochimique (PAS) qui permet aux utilisateurs de configurer facilement les recettes photorésistantes et les paramètres d'exposition. Le PAS a également la capacité de stocker jusqu'à 99 recettes, ce qui donne aux utilisateurs la flexibilité de passer entre différentes recettes en un seul processus. La conception innovante de SK-80BW-AVPE comprend également un modèle de régulation de température interne qui élimine le besoin de refroidisseurs externes et fournit des performances photorésistantes fiables et reproductibles. L'équipement d'écoulement de la boucle de dioxyde de chlore offre des mesures de sécurité améliorées et une solution rentable. En outre, le système est livré avec un certain nombre de fonctionnalités supplémentaires qui améliorent la précision et la productivité. Il s'agit notamment d'un doseur automatique, d'une exposition programmable, d'une gravure mixte automatique en deux étapes et d'un illuminateur refroidi par liquide multi-stable. Dans l'ensemble, l'unité DNS/DAINIPPON SK 80BW AVPE offre une solution de résistance photosensible fiable et économique pour les applications nécessitant un niveau élevé de précision et de précision. Son ensemble haute performance et ses mesures de sécurité complètes en font un choix idéal pour les processus de microfabrication modernes.
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