Occasion DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPF #9354132 à vendre en France
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ID: 9354132
Taille de la plaquette: 6"-8"
Style Vintage: 1997
(2) Coater / (2) Developer system, 6"-8"
Hot / Chill plates (7-25)
In-line
MICROBAR TrackMate chemical cabinet
Control rack
Interface
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPF est un équipement de haute performance spécialement conçu pour les procédés de lithographie de nouvelle génération. Il est conçu pour fournir un excellent contrôle de processus, une petite résolution de fonctionnalités, et un haut degré de performance. Le système photorésist DNS SK-80BW-AVPF se compose de plusieurs composants. Tout d'abord, il contient un enrobeur de spin puissant, qui est capable d'obtenir un revêtement uniforme de résine photosensible sur une large gamme de substrats et de tailles de plaquettes. Le spin coater est construit avec un design optimisé pour soutenir efficacement une large gamme de tailles de plaquettes et de paramètres de revêtement. Ceci assure une application uniforme de la résine photosensible sur l'ensemble du substrat. DAINIPPON SK 80BW-AVPF comprend également une station de cuisson très précise et finement réglée, qui garantit que la résine photosensible est cuite uniformément et correctement. De plus, la station de cuisson est habituellement configurée avec un PEB multicouche (post-exposition) qui empêche toute non-uniformité dans la couche de résistance, et réduit le risque de défauts de revêtement et de particules. De plus, l'unité SK 80BW-AVPF comprend une phase d'exposition lithographique très précise, conçue pour aligner avec précision les substrats et fournir le temps et l'intensité d'exposition les plus précis et précis. Cette étape d'exposition permet de maximiser la résolution de petites caractéristiques dans la couche de résine photosensible. Enfin, le DNS/DAINIPPON SK 80BW-AVPF comprend une station spéciale de traitement chimique post-développement. Ceci permet d'assurer que la résine photosensible est correctement développée et retirée du substrat, ce qui conduit à une couche uniforme et sans défaut. De plus, le processus post-développement élimine les résidus indésirables qui peuvent causer la contamination et le dégazage. Dans l'ensemble, DAINIPPON SK-80BW-AVPF est une machine de photorésistance avancée conçue pour fournir un excellent contrôle des processus, une petite résolution de fonctionnalités et un haut niveau de performance. Il s'agit d'un outil idéal pour les procédés avancés de lithographie de nouvelle génération et peut aider à obtenir la couche photorésist de la plus haute qualité.
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