Occasion DNS / DAINIPPON SK-W80B-AVPE #9300359 à vendre en France

DNS/DAINIPPON SK-W80B-AVPE est un équipement de photolithographie étape-répétition qui utilise un système de pressage à vide avancé de haute précision (AVP). Cette unité peut produire des pièces électroniques, des motifs de circuits semi-conducteurs, et des composants optiques avec des précisions de 10 et 20nm, permettant une mise en oeuvre extrêmement précise des matériaux à haute résolution. La machine utilise un étage de mouvement linéaire 5 axes à moteur linéaire de haute précision et un mécanisme X-Y-Z- θ - Φ pour analyser et aligner les motifs, assurer un positionnement d'exposition plus précis et une précision cinématique, et réduire de façon fiable le risque de distorsion des motifs. L'outil est équipé d'une table et d'une station manuelle de transfert de plaquettes, de sorte que la plaquette peut être placée avec précision sur la scène et déplacée au poste d'exposition. Un atout d'alignement automatisé est également disponible, permettant un alignement précis et une répétabilité répétable. Le modèle est conçu pour fournir une exposition stable et précise et des performances constantes tout au long du processus de production. Il est équipé d'un équipement de miroir déformable par étapes de haute dynamique et haute précision pour permettre des expositions à haute résolution sur une large gamme de caractéristiques géométriques, y compris de petites caractéristiques en forme d'aiguille, tout en assurant une précision de placement exacte et des expositions uniformes. En outre, le système peut supporter une technique de remplissage d'entrefer qui peut augmenter l'exposition efficace à la lumière et améliorer les isolations optiques. L'unité est une machine photolithographique compacte et haute performance avec de nombreuses fonctionnalités intégrées, y compris un illuminateur à diode laser avec une puissance laser à large bande moyenne de 1.2W, une presse à vide haute précision, un étage mobile, une machine à mouvement XYZ θΦ, des encodeurs optiques X-Y et des paramètres d'exposition programmables. De plus, un outil antivibratoire est intégré pour assurer des opérations sans vibrations, et une structure intégrée d'étanchéité à la poussière et à la saleté empêche la poussière ambiante et les particules d'entrer dans l'actif. DNS SK-W80B-AVPE est un modèle photolithographique robuste et fiable conçu pour un traitement de haute précision. L'équipement dispose d'une interface conviviale et de paramètres faciles à définir pour simplifier le processus photolithographique. Le système est également entièrement conforme aux normes SEMI P-14 et P-19, ce qui en fait un excellent choix pour des besoins de photolithographie complexes et de haute précision.