Occasion DNS / DAINIPPON SKW-629-BV #293808882 à vendre en France

DNS / DAINIPPON SKW-629-BV
ID: 293808882
Taille de la plaquette: 6"
Coater / Developer system, 6".
DNS/DAINIPPON SKW-629-BV est un équipement de haute précision conçu pour la production d'applications de lithographie à semi-conducteurs très précises. Le système dispose d'une unité d'iris numérique (DIS) et d'un étage de 9 pouces qui accueille de grands substrats, qui peuvent être utilisés dans des applications allant jusqu'à 50 nm de ligne et d'espace. La Digital Iris Machine (DIS) fournit un haut niveau de précision pour l'application de la résine photosensible. Il se compose de deux composants : une source lumineuse et une unité de commande. La source lumineuse est une source LED autonome qui est couplée avec un moteur pas à pas pour fournir un mouvement de haute précision de la tache LED du centre au point de résistance cible. L'unité de contrôle recueille les données de position de la cible à partir d'un outil de vision et les traduit en coordonnées 3D qui serviront à placer avec précision la tache LED dans la couche de résistance. Ceci permet un recouvrement précis du motif sur la couche de résine photosensible. L'étage de 9 pouces supporte des substrats jusqu'à 4 pouces de diamètre et de grandes couches de résistance. Il dispose également d'un outil intelligent de détection de bord pour garantir la précision de l'alignement. Ce modèle utilise des informations de profil de bord, des données d'orientation de cible et des paramètres d'éclairage global pour enregistrer linéairement la couche et éliminer toute occlusion ou erreur de bord. L'équipement fournit également un certain nombre de caractéristiques de sécurité. Il s'agit notamment d'un arrêt de surpression, d'un arrêt de suréclairage et d'un arrêt électrique d'urgence pour prévenir les dommages potentiels dus aux fluctuations de tension. Il dispose également de systèmes de surveillance intégrés qui détectent les températures anormales, le raccourcissement et d'autres anomalies du système. L'unité DNS SKW-629-BV est conçue pour fournir des résultats lithographiques très précis et reproductibles pour un large éventail d'applications. Il a été conçu avec des fonctionnalités avancées qui garantissent une grande précision avec un risque minimal de dommages ou de défaillance. Il convient à des applications telles que la fabrication de dispositifs nanoélectroniques, de circuits intégrés, de dispositifs MEMS et de capteurs.
Il n'y a pas encore de critiques