Occasion EBARA UFP 300A #9132639 à vendre en France

EBARA UFP 300A est un équipement de photorésistance haute performance conçu pour le traitement de plaquettes semi-conductrices à exposition unique et à double contraste à une résolution nominale de 0,5-2,0 microns. Le système comprend une unité de revêtement fixe compacte en résine d'aluminium qui est capable de contrôler la vitesse, le volume et le rapport de mélange de la résine pour aider à un revêtement de plaquette optimal. L'unité de revêtement utilise la technologie de buse brevetée EBARA pour fournir des propriétés physiques et chimiques de revêtement précises et répétables. L'unité comprend également un module avancé de développement de post-process autonome avec un distributeur d'encre photorésist intégré et un post-process, station de nettoyage à l'air. Le module peut traiter des plaquettes jusqu'à 300mm de taille et fournit des processus de développement, de gravure et de décapage précis et reproductibles avec une perturbation minimale de la propreté des plaquettes. La station propre utilise la pulvérisation d'azote pour assurer un processus de haute qualité sans flux. La machine présente une excellente résolution avec une formation d'image de surface de haute qualité et offre également la possibilité de contrôler les différences relatives et absolues dans l'épaisseur du film photorésist au niveau de la plaquette. L'outil supporte à la fois des processus par lots et continus et a une structure de module électrique ouvert qui est suffisamment flexible pour incorporer d'autres processus. De plus, EBARA UFP-300A comprend une interface intégrée pour la connexion à un actif informatique hôte, permettant une surveillance et un contrôle complets en ligne du modèle. L'équipement fournit une opération conviviale avec une interface graphique intuitive (interface graphique utilisateur) et un design robuste avec une faible consommation d'énergie de veille. UFP 300A a également une capacité de mémoire de 200 Go, hébergeant même les applications logicielles les plus exigeantes de plusieurs fournisseurs. En résumé, UFP-300A est un système photorésist très fiable et convivial conçu pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Il est capable de produire des images de haute qualité avec une exposition unique et un double contraste et offre une interface utilisateur personnalisée pour la surveillance et le contrôle en ligne complet de l'unité. La machine est une solution économique pour l'industrie moderne du traitement des semi-conducteurs.