Occasion ELS TECHNOLOGY ELS-306MA #9059475 à vendre en France
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ID: 9059475
Taille de la plaquette: 2 to 8
Style Vintage: 2011
Manual spin coater, 2"-8"
Work Size: 2"~8" wafer / 100 x 100 mm
Spin Speed: 100 ~ 8000 rpm
Spin Speed Accuracy: +- 0.5%
Sequencer: Mitsubishi Series
Recipe: 10 recipes x 30 steps
Work Fixture: By Vacuum
Stage Material: Al or Teflon
Interlock: Yes
PR coating uniformity: +-3%
Option: PR Dispense System
2011 vintage.
ELS TECHNOLOGY ELS-306MA « Desmear Equipment » est un système de photorésistance conçu par le développeur de photorésistance ELS TECHNOLOGY. La résine photosensible est un matériau sensible à la lumière utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs pour fournir une définition de motifs. ELS-306MA Desmear Unit est une machine 3 en 1 avec des fonctions intégrées incluant la cuisson, l'exposition et le développement, servant de solution intégrée complète pour la production de résines photosensibles. L'outil dispose d'une chambre à processus unique très intégrée, pour une intégration optimale et une économie d'espace. La chambre de procédé est adaptée aux procédés photorésistants et offre d'excellentes capacités de manutention, telles que la technologie de verrouillage de charge et la manutention standard des plaquettes pour les substrats jusqu'à 200mm. La chambre de procédé dispose également de temps de cuisson rapide, fournissant dans la gamme de 1-2 minutes pour la cuisson des échantillons. En outre, la chambre dispose d'un actif de surveillance de la lumière in situ et d'un réseau de diffraction intégré, ce qui permet d'éliminer les variations de longueur de ligne et les problèmes de qualité causés par des paramètres imprécis. ELS TECHNOLOGY ELS-306MA prend également en charge un large éventail d'options d'outils d'exposition, tels que Quadrascan, diverses sources de marquage laser et EB Resist. La machine est supportée par un logiciel puissant, permettant la configuration facile et la personnalisation des recettes. Cela comprend une interface utilisateur graphique facile à utiliser, des capacités de traitement par lots intégrées et des recettes préinstallées pour plus de 50 processus. En outre, ELS-306MA modèle Desmear dispose d'un excellent temps de mise à jour et de fiabilité, assurant un fonctionnement continu et sans problème. L'équipement a intégré des fonctions de sécurité telles que la protection contre les surpressions, la surveillance thermique et la prévention du surintensité. Il dispose également de capacités d'autodiagnostic et de suivi intégré des processus, pour un suivi pratique des processus. Enfin, ELS TECHNOLOGY ELS-306MA offre un excellent rapport qualité-prix, grâce à sa multifonctionnalité intégrée, ses vitesses de traitement rapides et ses performances fiables. La conception compacte et les caractéristiques intégrées sont également idéales pour la production dans un espace limité, ce qui signifie qu'il n'y a pas besoin d'un montage ou d'un câblage supplémentaire.
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