Occasion EVG / EV GROUP 105 #293761363 à vendre en France
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ID: 293761363
Taille de la plaquette: 2"-12"
Bake module, 2"-12"
Manual wafer loading
Hot plate bake temperature: 150°C
SEMI Standard
Hot plate cover
Simultaneous bake:
Up to (9) wafers
Up to 100 mm size
Bake process: Soft / Post exposure
Wafer fixation via vacuum
Load and unload pneumatic lift pins
Temperature controller
Power supply
Solvent exhaust connection
Standalone.
EVG/EV GROUP 105 est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour des procédés de lithographie de haute précision dans les industries des semi-conducteurs et de la microélectronique. Ce système de pointe allie une technologie de pointe et des performances de pointe pour répondre aux exigences de la fabrication d'appareils de nouvelle génération. EVG 105 fait partie du portefeuille complet d'équipements et de solutions de lithographie EVG, mettant à profit l'expertise de l'entreprise en nanotechnologie et en traitement des plaquettes. Au cœur de l'unité EV GROUP 105 se trouve son module d'exposition sophistiqué, qui utilise une optique avancée et des mécanismes d'alignement précis pour obtenir une résolution submicronique et une précision d'alignement. Cela permet à la machine de modeler des matériaux photorésistants avec une précision exceptionnelle, ce qui la rend idéale pour la production de dispositifs semi-conducteurs avancés de dimensions inférieures à 100 nm. Le module d'exposition de l'outil est équipé de multiples sources lumineuses, y compris les sources UV et DUV, afin d'offrir une souplesse dans le choix des matériaux photorésistants et des longueurs d'onde d'exposition. 105 dispose d'un mécanisme de hucking polyvalent qui supporte une large gamme de tailles de plaquettes, y compris 150 mm, 200 mm, et 300 mm wafers. Cette flexibilité permet aux fabricants d'utiliser le modèle pour diverses applications et exigences de production. Le mécanisme de hachage assure également une excellente planéité et alignement des plaquettes pendant le processus de lithographie, minimisant les risques d'erreurs d'alignement et de défauts dans les structures structurées. En plus de ses capacités d'exposition de précision, l'équipement EVG/EV GROUP 105 offre des fonctions avancées de contrôle des processus pour assurer l'uniformité et la répétabilité du processus de lithographie. Le système est équipé de mécanismes de suivi et de rétroaction en temps réel qui permettent aux utilisateurs d'optimiser les paramètres du processus et de les avertir de tout écart par rapport aux spécifications souhaitées. Ce niveau de contrôle est essentiel pour obtenir des rendements et des performances élevées dans la fabrication de semi-conducteurs. L'unité EVG 105 est également conçue pour des environnements de production à haut débit, avec des capacités d'automatisation qui simplifient le processus de lithographie et réduisent les temps de cycle. La machine peut être intégrée dans des grappes multi-outils et des lignes de production, permettant un transfert continu des plaquettes entre les étapes de traitement. Cette évolutivité et cette automatisation permettent aux fabricants d'augmenter le débit et l'efficacité tout en maintenant des normes de haute qualité dans la fabrication des appareils. De plus, l'outil EV GROUP 105 est soutenu par une suite logicielle complète qui fournit aux utilisateurs des interfaces de contrôle intuitives, des recettes de processus et des outils d'analyse de données. Le logiciel permet aux utilisateurs de programmer et d'optimiser facilement les processus de lithographie, de surveiller la performance des actifs en temps réel et d'analyser la qualité des structures structurées. Cette approche fondée sur les données permet aux utilisateurs de prendre des décisions éclairées et d'améliorer continuellement le processus de lithographie pour améliorer les performances et le rendement des appareils. En conclusion, 105 est un modèle de photorésist de pointe qui offre une précision, une flexibilité et un contrôle de procédé inégalés pour la fabrication avancée de semi-conducteurs. Grâce à ses technologies de pointe et à ses capacités d'automatisation, l'équipement est idéal pour la production à haut volume d'appareils de nouvelle génération de dimensions inférieures à 100 nm. Les fabricants peuvent compter sur le système EVG/EV GROUP 105 pour répondre à leurs besoins en lithographie et rester compétitifs dans l'industrie des semi-conducteurs en évolution rapide.
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