Occasion EVG / EV GROUP 150 #293606734 à vendre en France

EVG / EV GROUP 150
Fabricant
EVG / EV GROUP
Modèle
150
ID: 293606734
Coater system.
EVG/EV GROUP 150 est un équipement de photorésistance utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour déposer des couches de photorésist sur des plaquettes. Il utilise une technologie exclusive basée sur des processus contrôlés par séquence pour créer des structures de résistance complexes avec une uniformité et une précision exceptionnelles. Le système photorésist est composé de cinq composants principaux : le porte-plaquettes, le module de commande, le module d'éclairage, le phototool et le module photorésist. Le porte-plaquettes sert à maintenir un substrat lors de l'application de la résine photosensible. Le support usiné de précision est conçu pour maintenir le substrat stable sans glissement pendant le processus. Le module de contrôle est le cerveau de l'unité. Il contrôle toute la séquence photorésist et est programmé via l'interface utilisateur (UI). Il surveille les paramètres de résistance et les autres étapes du processus pour maintenir une précision constante des motifs. Le module d'éclairage est une source lumineuse de forte puissance qui est utilisée pour exposer la couche de résine photosensible sur le substrat. Il est intégré à la machine de photorésistance pour fournir une intensité lumineuse et une gamme de longueurs d'onde programmables, précises et uniformes. Le phototool est un bras robotique sous vide utilisé pour déplacer et contrôler la plaquette pendant le processus photorésist, ainsi que pour déplacer les plaquettes entre les étapes du processus. Le module photorésist applique la photorésist sur le substrat et est le composant clé de l'outil photorésist. L'application précise et uniforme de la résine photosensible est l'aspect le plus critique du procédé et est contrôlée par le module de contrôle. EVG 150 Photoresist Asset est largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour créer des structures de résistance précises et uniformes avec une excellente précision de motif, répétabilité et adhérence. Le modèle peut produire des couches complexes de photorésist avec un contrôle précis de la taille et de l'uniformité. De plus, l'équipement offre des niveaux élevés de précision, d'efficacité et de répétabilité, ce qui améliore les rendements et la qualité des produits.
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