Occasion EVG / EV GROUP 150 #293617649 à vendre en France

Fabricant
EVG / EV GROUP
Modèle
150
ID: 293617649
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2008
Coater system, 8" 2008 vintage.
EVG/EV GROUP 150 est un équipement de photorésistance conçu pour des applications de photolithographie. Ce système photorésist est conçu pour être utilisé dans diverses industries, y compris la fabrication de semi-conducteurs, de télécommunications et de dispositifs médicaux. L'unité est composée de deux modules, le module de traitement et le module de traitement de substrat. Le module de traitement est conçu pour fournir les étapes de processus requises pour les matériaux photorésistants. Il contient une caméra intégrée configurable qui peut être utilisée pour l'alignement des outils et pour l'enregistrement des résultats ou des images du processus. Le module de traitement des substrats est conçu pour tenir, transporter et manipuler des substrats individuels, permettant des étapes de processus uniformes et répétables. Le module processeur de la machine est capable de contrôler plusieurs étapes de processus tels que les résistances pré-exposées et post-exposées, le développeur, le nettoyage et les processus de cuisson souple. Ce module offre également un outil de vision intégré avec des fonctions auto-focus, auto-alignement et auto-exposition. Cet atout permet également d'évaluer le profil de résistance in situ et d'optimiser les profils de résistance et les paramètres d'imagerie. Le module de traitement des substrats est conçu pour traiter plusieurs substrats et processus de manière parallèle. Il peut agir comme un processus en ligne ou par lots, selon l'application. Il offre une gamme de substrats tels que des plaquettes, des panneaux ou d'autres structures de grande surface et différentes parties du procédé peuvent être ajustées ou surveillées individuellement. Il dispose également d'un capteur de flexibilité pour tester le profil de résine et détecter les défauts mécaniques. Le modèle offre également une large gamme de mesures de sécurité telles que des boucliers de sécurité pour la protection UV, ainsi qu'une routine de sécurité programmable avec plusieurs capteurs et alarmes. En outre, il contient une routine de diagnostic et un équipement de trace de courbe IV avec une plate-forme ouverte qui permet l'intégration de routines de caractérisation définies par l'utilisateur. En conclusion, EVG 150 Photoresist System offre des capacités qui le rendent adapté à une variété d'applications de photolithographie industrielle. C'est une unité photorésist configurable et conviviale avec une gamme de capacités de contrôle de processus et de mesures de sécurité. La machine peut être utilisée pour un large éventail d'applications, y compris la fabrication de semi-conducteurs, de télécommunications et de dispositifs médicaux.
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