Occasion EVG / EV GROUP 150 #293759601 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 293759601
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2005
Coater / Developer system, 8"
Cassette-to-cassette handling
Cassette station with ergo load mounts
(3) Spin modules:
Bake
Chill
Vapor prime
No manual
2005 vintage.
EVG/EV GROUP 150 est un équipement de photorésistance avec alignement automatique de masque, exposition et traitement post-développement dans un seul équipement. C'est un outil professionnel pour le traitement d'une variété de matériaux photorésistants différents dans une gamme d'applications. Le système dispose d'une unité d'alignement et d'exposition optique intégrée, composée d'une source multimode, d'une machine d'alignement laser et d'un contrôleur d'intensité. L'outil fournit également une large gamme de fonctions de post-développement, y compris la gravure de spin, le traitement des additifs et le traitement des bandes. EVG 150 est conçu pour traiter une large gamme de matériaux photorésistants différents, y compris le spin-on-glass (SOG) et le fluoropolymère photorésist. Il est conçu pour permettre des procédés tels que la gravure additive, l'aveugle par formation, la gravure différentielle et la fabrication de substrat maítre. L'actif est capable de graver une variété d'épaisseurs, avec une profondeur de gravure maximale de 1000nm. EV GROUP 150 dispose d'un modèle d'alignement de masque automatisé, offrant une précision et une répétabilité améliorées lors de l'exposition d'une couche de résine photosensible. Le masque est monté sur un étage d'alignement mécanique de précision, avec une portée allant jusqu'à 50 μ m. L'équipement dispose également d'un système d'acquisition d'image numérique pour la reconnaissance des motifs, assurant un alignement précis des motifs. L'unité fournit également des capacités d'exposition pour une gamme de matériaux photorésistants. Il dispose d'une gamme de sources, y compris un laser haute puissance 405nm, un laser industriel Ar-ion et un laser ultraviolet (UV). Il est équipé d'une durée d'exposition allant de 35 μ s à 35 s, permettant une large gamme de temps d'exposition et de niveaux de puissance pour convenir à différents matériaux photorésistants. 150 fournit également des capacités de post-traitement automatisé. La machine est équipée d'un processeur de rotation, permettant la gravure de différentes épaisseurs en une étape. Il est également apte à un traitement additif permettant l'application de couches spécifiques de matériaux tels que des revêtements évaporatifs. En outre, l'outil peut offrir un traitement de bande, dans lequel la résine photosensible est précisément retirée de la zone exposée. EVG/EV GROUP 150 est le choix idéal pour une grande variété d'applications de traitement de résines photosensibles. Il permet des résultats précis, reproductibles et fiables, et peut être utilisé pour traiter n'importe quel matériau photorésist. L'actif bénéficie également d'une multitude de fonctions de post-traitement, ce qui en fait une solution idéale pour la recherche et le développement de pointe.
Il n'y a pas encore de critiques