Occasion EVG / EV GROUP 150 #9289394 à vendre en France

EVG/EV GROUP 150 est un équipement de photorésistance conçu pour la fabrication de plaquettes. Il se compose d'une série de modules différents, chacun ayant son propre objectif. Les principaux composants du système comprennent une station de wafer, une plaque chaude, une source lumineuse, une station de contrôle et une chambre d'environnement. Le poste de wafer permet le chargement et le déchargement des wafers, ainsi que les procédures d'alignement et de nettoyage. La plaque chaude est utilisée pour chauffer le substrat avant le processus d'exposition, tandis que la source de lumière est utilisée pour créer le motif désiré sur la plaquette. Le poste de contrôle permet à l'utilisateur d'ajuster des paramètres tels que la taille du motif, la forme et le temps d'exposition, ainsi que de surveiller le processus. Enfin, la chambre environnementale sert à maintenir un environnement contrôlé pour l'ensemble du processus d'exposition. L'unité photorésist peut atteindre jusqu'à 12 pouces de substrats avec une résolution de 1 micron. La machine est capable de différents procédés tels que le recuit, la gravure différentielle et l'amincissement des plaquettes. Il est également équipé de différentes techniques d'exposition telles qu'un seul plan, un pas et une matrice. Les capacités d'éclairage évanescentes permettent la production de dessins tridimensionnels avec une résolution allant jusqu'à 0,2 microns. L'outil est également convivial et peut être actionné à partir d'une télécommande. Il dispose également d'un écran intégré, permettant une surveillance facile du processus. L'actif dispose également d'un modèle automatisé de surveillance et d'avertissement qui signale tout problème au cours du processus. En conclusion, EVG 150 est un équipement photorésist fiable et convivial qui convient à la fabrication à l'échelle des plaquettes. Il a une résolution de 1 micron et peut fabriquer jusqu'à des substrats de 12 pouces avec diverses techniques d'exposition. Il est également équipé d'un système automatisé de surveillance et d'alerte pour faciliter le fonctionnement et le suivi du processus.