Occasion FSI EXCALIBUR #293759461 à vendre en France

Fabricant
FSI
Modèle
EXCALIBUR
ID: 293759461
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Batch wafer processing system 1995 vintage.
FSI EXCALIBUR est un équipement de photorésistance conçu pour la réalisation de circuits intégrés performants. Ce système offre une excellente micro résolution, contrôle et cohérence. Il comprend un logiciel sophistiqué capable de contrôler les couches minces, la photographie, la résolution et la puissance d'exposition. Cette unité est idéale pour la réalisation de circuits intégrés à performances exclusives car elle permet la réalisation de circuits de plus grande résolution, plus petits et plus efficaces. EXCALIBUR utilise un procédé de photolithographie connu sous le nom de procédé de revêtement par pulvérisation. Ce procédé est utilisé pour transférer une couche mince sur un substrat, qui est constitué d'une couche mince, d'un revêtement antireflet et d'une résine photosensible positive. Cette couche mince est constituée d'un mélange de silice, de dioxyde de titane et d'éléments organiques, qui créent un revêtement stable sur le substrat optiquement transparent. Le revêtement antireflet optimise le film mince, idéal pour l'imagerie haute résolution, et la protection contre la contamination ou les effets environnementaux. La couche finale est la résine photosensible qui sert de « masque » à la couche mince. Cette résine photosensible protège le film mince de la lumière UV utilisée dans le processus de lithographie. Le processus d'imagerie commence par utiliser un laser de 635nm ou 355nm dans le projecteur. Ce laser projette les géométries qui nécessitent une exposition sur la couche mince. Ces géométries s'exposent alors à la lumière et commencent à réagir avec la résine photosensible. Après développement, les zones non exposées de la résine photosensible deviennent transparentes, tandis que la résistance exposée reste opaque. C'est ce que l'on appelle la résistance positive au développement. L'étape suivante est le processus de gravure, où le motif désiré est gravé dans le substrat. Il s'agit notamment de dédicacer le substrat, d'appliquer un masque de gravure et de l'immerger dans un bain chimique. Cette gravure nécessite précision et précision car la photorésist a été réduite par l'exposition au laser. Après gravure, la couche de film mince doit être retirée en raison de l'exposition aux agents gravants. Cela se fait par un processus appelé cendre, ou brûler la couche de film mince. Le processus de cueillette se fait avec un four à commande logicielle. Ce four fonctionnera à une température déterminée, créant un panache de gaz minces. Le processus de cueillette est terminé lorsque la couche de couche mince n'est plus visible sur le substrat. Enfin, on procède à un nettoyage pour éliminer la résine photosensible restante du substrat. Il s'agit généralement d'utiliser une solution alcaline, ou une combinaison de techniques de nettoyage chimique et mécanique. Après nettoyage et séchage du substrat, le circuit intégré est prêt pour son contrôle final. FSI EXCALIBUR est une machine idéale pour la production de circuits intégrés à performance exclusive. Son processus de photolithographie précis et cohérent assure une haute résolution des géométries dans les puces. Associé à ses procédés de revêtement antireflet, de photorésist, de cendrage et de nettoyage, EXCALIBUR est une excellente solution pour la production de circuits intégrés haute performance.
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