Occasion FSI MERCURY MP #9189482 à vendre en France
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Vendu
ID: 9189482
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1997
Spray cleaning system, 6"
0106 Generation system
(5) Chemicals
4-Position PFA table
CE Marked
1997 vintage.
FSI MERCURY MP est un équipement de photorésistance qui fournit des capacités de lithographie haute définition inégalées pour créer des motifs micro-échelle et nano-échelle sur les semi-conducteurs, MEMS, et d'autres composants de précision. MERCURY MP est conçu pour fournir aux utilisateurs une haute résolution et des résultats précis tout en donnant le plus haut débit et la stabilité sur le marché, conduisant finalement à des rendements supérieurs et des économies de coûts. FSI MERCURY MP utilise un système d'imagerie optique unique qui comprend une technologie spéciale de balayage sans masque qui projette une image d'un masque numérique monocouche sur une plaquette sans nécessité de fabrication de photomasques. Cette unité de balayage sans masque conserve la plus haute résolution possible grâce à sa précision d'alignement et sa reproductibilité. De plus, MERCURY MP utilise des capacités avancées de métrologie sur place pour mesurer avec précision les modèles et contrôler la précision des superpositions. La machine dispose également d'un outil de refroidissement liquide avancé pour une gestion thermique optimale pendant le fonctionnement, assurant ainsi la plus grande stabilité d'image et l'uniformité sur le marché. FSI MERCURY MP utilise également une approche robotique exclusive pour les opérations de revêtement et de dénudage, automatisant le flux de travail de traitement de la photorésistance du revêtement de spin à l'imagerie et au dénudage, avec une intervention minimale. La solution robotique contribue à améliorer le débit et la cohérence des processus de l'actif, ainsi qu'à réduire la consommation de photorésist. Bien que MERCURE MP soit conçu pour la production industrielle, sa conception sophistiquée lui permet également d'être utilisé à des fins de recherche et de développement. Sa capacité à passer entre une sélection de réticules avancés lui permet de répondre à des exigences complexes de processus, et le modèle peut être élargi et reconfiguré pour intégrer des outils et des réticules supplémentaires. En résumé, FSI MERCURY MP est un équipement puissant et efficace qui offre des capacités de lithographie inégalées pour exiger des modèles micro-échelle et nano-échelle. Le système fonctionne avec une précision et une précision exceptionnelles et offre la plus grande uniformité de débit et d'image, ainsi que des capacités robotiques avancées conçues pour optimiser l'efficacité et réduire la consommation de résine photosensible.
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