Occasion FSI SATURN OC #293592650 à vendre en France

FSI SATURN OC est un outil d'exposition innovant de 193 nanomètres (nm) pour le développement de résistances sèches, de photorésist amplifié chimiquement et d'optimisation du profil de bord. SATURN OC permet aux fabricants d'équipements d'origine (OEM) de fournir aux concepteurs de puces la capacité de progresser dans la performance des outils lithographiques au-delà de la limite théorique de diffraction, tout en offrant une répétabilité inégalée. FSI SATURN OC dispose d'un champ d'exposition intégré de 6 «, fournissant des tailles de champ d'exposition de 6,5 », 5,5 « , 4,5 », et des modèles de ligne/espace configurables personnalisés. Le champ d'exposition fournit des largeurs de ligne sous-angström et une uniformité répétable bord à bord pour la résistance aux colorants et à l'amplification chimique. SATURN OC présente des avantages de performance du système optique. La maîtrise de l'énergie et l'homogénéité de l'exposition permettent des largeurs de raies sous-angström pour des constructions denses. Les outils d'optimisation optique innovants permettent une optimisation rapide du contraste des bords pour les résistances CHA et des motifs de contraste, de hauteur et de fenêtre améliorés pour la teinture. FSI SATURN OC dispose d'un moniteur in situ pour une surveillance précise de la dose et de la concentration, qui assure des conditions de processus agressives du moniteur optique actif pour permettre une précision de recouvrement du niveau RECOnnode agressive. L'adaptation du procédé lithographique est conforme à celle des tissus de fabrication existants de 193nm, et les performances optiques sont extrêmement répétables. La conception de chambre de SATURN OC minimise également les effets d'ondes stationnaires photorésistantes et les non uniformités. FSI SATURN OC est un nouvel outil puissant pour la conception de puces et les processus qui disposent de dispositifs agressifs à l'échelle et de briser les limites de la lithographie de diffraction. Les fonctionnalités avancées du système SATURN OC garantissent des procédures de surenchère ultra-stables et une répétabilité au niveau du nanomètre tout en offrant des performances optiques améliorées. Avec son excellente fiabilité du système optique et ses capacités de test et d'optimisation intégrées, FSI SATURN OC en fait un choix idéal pour les OEM et les fabricants de semi-conducteurs.