Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 2134N #9109608 à vendre en France
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ID: 9109608
Wafer acid cleaning solvent system
Includes controls, pumps & flow valves/meters.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 2134N est un équipement de photorésistance utilisé dans la fabrication de composants micro-électroniques. Ce système est une unité avancée qui comprend un contrôle intégré des processus, une imagerie haute résolution et de précision, et des solutions automatisées de manipulation des substrats. FSI 2134N utilise une technologie d'imagerie avancée pour fournir une imagerie haute résolution et de précision. Ceci permet une exposition précise et rapide de la couche de résine photosensible d'un dispositif. En outre, la machine comprend des fonctionnalités avancées comme un outil laser qui utilise l'écriture laser directe, un outil de contrôle de l'exposition pour un contrôle précis de l'uniformité, et un modèle d'accumulation à grande vitesse qui permet une réponse rapide. TEL 2134N dispose également d'un contrôle intégré des processus. Cela inclut un interféromètre laser in situ innovant qui permet de mesurer avec précision les dimensions critiques. De plus, l'équipement comprend un système automatisé de manutention du substrat qui facilite le chargement et le déchargement des substrats, ainsi qu'un processus de configuration et de fonctionnement entièrement automatisé. 2134N assure un haut niveau de précision et un contrôle précis de la production pendant le processus de fabrication des unités photorésistantes. La machine dispose d'une gamme d'options pour contrôler les processus d'exposition et de gravure, y compris divers paramètres tels que la dose, le temps d'exposition, la vitesse de gravure, la profondeur de focalisation, la température du substrat et la pression de gravure. De plus, le contrôle intégré des processus permet d'améliorer la répétabilité et le rendement des processus. En outre, TOKYO ELECTRON 2134N peut être configuré avec une gamme d'options pour l'automatisation. Cela comprend une variété de solutions de traitement automatisé des substrats, une unité d'étalonnage automatisée et un processus de configuration et de fonctionnement entièrement automatisé. Dans l'ensemble, FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 2134N fournit une technologie d'imagerie avancée, un contrôle intégré des processus, des solutions automatisées de manutention des substrats et un contrôle précis de la production pendant le processus de fabrication des outils photorésistants. Cela permet aux utilisateurs d'obtenir des résultats de production très précis et reproductibles.
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