Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 8221 #9119346 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 8221 est un équipement de photorésistance développé pour la production de puces semi-conductrices. Il s'agit d'un système entièrement automatisé qui assure à la fois le préchauffage du substrat et le traitement des couches de résines dans la fabrication de dispositifs utilisant des techniques de dépôt en couches minces. FSI 8221 unité peut traiter des substrats jusqu'à 8 pouces de diamètre avec une fenêtre de processus de 120 ° C à 200 ° C Il dispose d'une machine de chauffage unique qui permet un contrôle uniforme de la température et assure la cohérence et la répétabilité du processus. Il est équipé de deux sources d'irradiation - une lampe flash Xenon jusqu'à 2 J/cm ² et un laser Argon jusqu'à 400 mJ/cm ². L'outil est complet avec un ensemble optique à quartz sélectionnable en longueur d'onde et un réflecteur variable pour ajuster le profil du faisceau. TEL 8221 photorésist actif peut être utilisé pour le traitement monocouche, multicouche et bicouche. Il a une approche précise pour contrôler les paramètres du procédé et assure une excellente dispersion et résolution des couches de résine. Une sélection de formulations de résistances multicomposantes sont disponibles, des systèmes semi-durables aux systèmes de haute durabilité, ainsi que tous les jetables nécessaires pour un traitement réussi. En outre, le modèle comprend des outils avancés de métrologie et d'inspection tels que la microscopie au champ de vision, des mesures de densité de particules et des mesures de résistivité électrique. Ces techniques peuvent être utilisées pour évaluer les performances des couches de résines sur leur durée de vie prévue, afin d'assurer la cohérence du procédé et du produit. Pour garantir les rendements les plus élevés de leurs substrats, les utilisateurs des équipements de photorésistance 8221 bénéficient de fonctions de contrôle et de surveillance des procédés de pointe. L'interface utilisateur interactive couleur complète fournit un flux de travail facile et intuitif pour le paramétrage, les réglages d'équipement et l'évaluation des composants. En conclusion, TOKYO ELECTRON 8221 est un système de photorésistance haute performance conçu pour garantir les rendements les plus élevés pour la production de puces semi-conductrices. Il offre une unité de chauffage intégrée, un contrôle précis des processus et des outils de métrologie et d'inspection avancés pour garantir une qualité optimale du produit.