Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 918601-005 #293831117 à vendre en France

ID: 293831117
Taille de la plaquette: 8"
Turntable for Mercury, 8".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 918601-005 est un équipement de photorésistance sophistiqué utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour les procédés de photolithographie. Ce système est conçu pour fournir une application précise et précise de matériaux photorésistants sur des substrats semi-conducteurs, permettant la création de motifs complexes et de structures essentielles pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. L'unité se compose de plusieurs composants clés qui travaillent ensemble pour permettre le dépôt et le développement de couches photorésistantes avec une grande précision et répétabilité. Un des composants principaux est le distributeur de photorésist qui dispense une quantité contrôlée de matériau photorésist sur la surface du substrat. Le distributeur est équipé de caractéristiques avancées telles que les débits de distribution programmables, la taille des buses réglables et le contrôle de la température pour assurer un revêtement uniforme et cohérent de la résine photosensible. Un autre composant critique de la machine FSI 918601-005 est l'unité d'exposition aux UV, qui expose le substrat revêtu de photorésist à la lumière ultraviolette pour amorcer le processus de photolithographie. L'unité d'exposition aux UV est équipée de lampes UV de haute intensité, de temps d'exposition réglables et de capacités d'alignement précises pour assurer le transfert précis du motif sur la couche de résine photosensible. De plus, l'outil comprend un module de développement, qui est chargé d'enlever le matériau photorésistant non exposé après exposition aux UV. Le module développeur utilise une solution chimique pour dissoudre sélectivement la photorésist non exposée, révélant le motif désiré à la surface du substrat. Le module développeur est conçu pour réaliser un développement à haute résolution tout en minimisant la consommation chimique et la production de déchets. TEL 918601-005 dispose également de systèmes de contrôle avancés et de logiciels qui permettent de programmer les paramètres de processus, de surveiller en temps réel les performances du modèle et de consigner les données pour la traçabilité et l'analyse. L'interface de l'équipement offre une expérience utilisateur intuitive avec la visualisation graphique des étapes de processus et la gestion personnalisable des recettes pour différentes applications photorésist. En outre, le système est conçu avec des considérations de sécurité, de fiabilité et de facilité d'entretien. Des dispositifs de sécurité tels que des embrayages, des alarmes et des boutons d'arrêt d'urgence sont intégrés pour prévenir les accidents et assurer la protection de l'opérateur pendant le fonctionnement de l'unité. La machine subit également des tests rigoureux et des procédures de contrôle de la qualité pour répondre aux normes de l'industrie et aux exigences de fiabilité. Dans l'ensemble, l'outil de photorésistance TOKYO ELECTRON 918601-005 représente une solution de pointe pour les fabricants de semi-conducteurs à la recherche de procédés de dépôt et de développement de photorésistance précis et efficaces. Avec ses caractéristiques avancées, sa construction robuste et son interface conviviale, cet atout permet aux fabricants de semi-conducteurs d'obtenir un transfert de motifs et une qualité supérieurs dans leurs dispositifs semi-conducteurs, contribuant ainsi à l'avancement de l'industrie des semi-conducteurs.
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