Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX #293652980 à vendre en France

ID: 293652980
Style Vintage: 2008
Wafer cleaning system 2008 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Antares CX est un équipement de photorésistance conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Ce système utilise les principes de l'implantation ionique, de la gravure chimique et de l'enrobage pour assurer la meilleure qualité des couches de résines photosensibles sur divers matériaux. L'unité comprend un implant ionique précis qui implante des ions dans la couche de photorésist pour créer des motifs prédéterminés. Le motif créé est appelé motif de gravure de transfert et la résine photosensible elle-même est alors utilisée pour créer la couche de masque désirée. Cette couche de protection est ensuite gravée sur un certain nombre de substrats matériels pour créer la structure. Une application de spin coat est incluse dans la machine pour assurer la répartition uniforme de la résine photosensible sur les substrats. Ce processus se déroule dans un environnement de haute qualité, contrôlé par la température pour assurer la plus grande précision. FSI Antares CX propose une large gamme d'adaptations d'outils pour répondre aux spécifications des clients. L'actif comprend des équipements supplémentaires facultatifs ainsi que des composants de soutien pour étendre sa capacité. Cela inclut des enclumes de précision supplémentaires, des systèmes à faisceau d'ions haute densité et des systèmes à faisceau d'électrons conçus pour fournir le plus haut niveau de précision et de contrôle pour diverses applications. Pour augmenter le débit, le modèle comprend des fonctions automatisées qui sont conçues pour réduire le temps nécessaire à l'achèvement du traitement de la résine photosensible et améliorer sa précision globale. L'équipement comprend également plusieurs modes de fonctionnement et peut être ajusté pour différentes tâches et tâches. TEL Antares CX est un système photorésist idéal pour tout procédé de fabrication de semi-conducteurs offrant des résultats cohérents et fiables, ainsi qu'un débit accru et une meilleure qualité. Les conceptions d'unités sont également personnalisables pour les besoins individuels des utilisateurs.
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