Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX #9169544 à vendre en France
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Antares CX est un équipement spécialisé en photolithographie conçu pour la gravure et la gravure de dispositifs microélectroniques. Le système combine la technologie de photo-masquage avec la photolithographie à résolution sous-onde pour créer des structures d'appareils serrées et complexes. A son coeur, l'unité utilise des lasers et une photorésist, qui sont des matériaux sensibles à la lumière. Lorsqu'il est exposé à la bonne longueur d'onde de la lumière laser, le photorésist réagit et gravera de minuscules motifs sur un substrat. La photorésist est en outre supportée par un étage pas à pas, un ensemble mécanique de précision qui permet au substrat de se déplacer dans la direction X-Y-Z afin d'aligner parfaitement la photorésist pour le brassage. FSI Antares CX permet une précision extrême. Il a la capacité de modeler des formes et des motifs de sous-longueurs d'onde, aussi petites que 25nm, ce qui le rend idéal pour la création de structures microélectroniques avancées. Le laser utilisé dans la machine est également capable de mesurer la topographie, ce qui le rend facile à graver avec beaucoup de détails. De plus, l'outil est capable d'effectuer une lithographie à double exposition pour créer la présence d'un pont conducteur entre deux éléments de circuit. TEL Antares CX est également équipé d'un composant logiciel appelé « Sortimos » qui peut gérer l'ensemble du processus de balayage de faisceau, de traitement photorésist, et de balisage. Ce logiciel est capable de contrôler automatiquement le taux de balayage laser, la puissance laser et le temps d'exposition afin d'obtenir le résultat le plus précis et le plus cohérent. Le logiciel est également capable d'aider l'utilisateur à déterminer les temps d'exposition appropriés pour une variété de types de photorésist, rationalisant considérablement le flux de travail. Dans l'ensemble, Antares CX est un actif de photolithographie très avancé conçu pour la gravure de structure d'appareil de niveau micron. Il utilise des lasers, des photorésistants et un déplacement mécanique précis afin de tracer avec précision des structures complexes aussi petites que 25nm. Le logiciel 'Sortimos' permet d'assurer la précision et la cohérence tout au long du processus, faisant de TOKYO ELECTRON Antares CX le choix optimal pour la microminiaturisation et la création de structures d'appareils.
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