Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX #9234274 à vendre en France
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ID: 9234274
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Cryokinetic cleaning system, 12"
Main body
System resource module
(2) Process modules
(3) Load ports
PC Unit
A-Box
FFU Cover
2005 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Antares CX est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour fournir des performances supérieures dans les processus lithographiques. C'est un outil inestimable pour l'industrie de la microélectronique, permettant la micro-fabrication haut de gamme de composants électroniques. Le système Antares CX de FSI est composé de plusieurs composants, qui travaillent ensemble pour exposer des matériaux photorésistants pour la lithographie haute définition. Au cœur de l'unité se trouve le générateur de motifs à diode électroluminescente (LED), qui est chargé de générer les motifs de haute précision pour la fabrication. Le générateur de motifs LED est piloté par des données définies par l'utilisateur, ce qui lui permet de créer de nombreux motifs différents. Le générateur de motifs LED est relié à l'ensemble optique de projection, qui est chargé de projeter la lumière d'imagerie sur la surface du matériau photorésist. Cet ensemble optique est conçu pour disperser uniformément la lumière à travers la surface et peut être réglé pour disperser différentes longueurs d'onde. Pour un rendement optimal, les matériaux photorésistants doivent être alignés avec précision sur l'image du projet. Pour ce faire, la machine TEL Antares CX intègre la capacité d'auto-alignement dans sa conception. Cela permet à l'outil d'aligner automatiquement le matériau photorésist sur l'image projetée, fournissant des résultats cohérents à chaque fois. Enfin, l'atout TOKYO ELECTRON Antares CX est conçu pour une vitesse et une efficacité maximales, permettant à l'optique de projection de balayer rapidement le matériau de la résine photosensible pour une fabrication plus rapide. Ceci est obtenu par un modèle de chambre blanche de grande capacité, qui réduit la quantité de particules en suspension dans l'air, ce qui améliore la qualité des résultats de la lithographie. En conclusion, Antares CX est un équipement photorésist complet conçu pour permettre une fabrication supérieure de composants électroniques. Il offre un contrôle dynamique de la lumière d'imagerie, une capacité d'auto-alignement et un système de salle blanche de grande capacité pour une efficacité maximale.
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