Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares #9399583 à vendre en France
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON L'équipement Antares est un système de photolithographie photorésistante de haute précision conçu pour permettre la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. Cette unité utilise une technologie de pointe pour permettre la production de dispositifs de pointe dans la fabrication de semi-conducteurs. La machine FSI Antares est équipée de capacités de profondeur de focalisation étendue (EDoF), permettant la production de motifs complexes dans un panneau de 600 mm x 600 mm. Avec sa distance optique de travail de haute précision, TEL Antares est capable d'atteindre une résolution de processus de 0,5 μ m, nécessaire à la production de transistors à hétérojonction avancée et de circuits intégrés. Au cœur de TOKYO ELECTRON Antares atout est sa technologie de photorésistance avancée. Ce modèle utilise une combinaison unique de méthodes optiques et chimiques pour assurer un contrôle précis du processus de revêtement photorésist. Divers produits chimiques photorésistants sont supportés, dont le KF (à base de siloxane) et le PMMA (polyméthylméthacrylate). De plus, l'équipement Antares est capable d'ajuster rapidement et avec précision l'épaisseur du revêtement photorésist aux spécifications précises. Le système FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Antares offre aux utilisateurs une gamme de fonctionnalités avancées qui garantissent un processus photolithographique complet et précis. Cela comprend un contrôle avancé des temps d'exposition, des niveaux de puissance d'éclairage et un contrôle de focalisation limité par diffraction. En outre, l'unité FSI Antares est compatible avec une gamme de matériaux différents, y compris le quartz, l'aluminium, le silicium, le polyimide et plus encore. La combinaison d'une technologie de photorésistance précise, de fonctions de contrôle avancées et d'une large gamme de matériaux fait de la machine TEL Antares une plate-forme idéale pour la production de dispositifs semi-conducteurs. Cet outil peut être utilisé pour réaliser une variété de motifs complexes, et est parfaitement adapté à la réalisation de petites géométries, telles que des transistors de 5nm. En outre, TOKYO ELECTRON Antares atout permet aux utilisateurs d'effectuer un réglage fin de leur processus de photolithographie, permettant une fabrication de haute précision des composants d'appareils de pointe. En conclusion, le modèle Antares est un équipement de photolithographie de haute précision qui offre une gamme de caractéristiques avancées pour la production de dispositifs semi-conducteurs de pointe. Avec son contrôle photorésist précis et sa large gamme de matériaux compatibles, le système FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Antares est bien adapté pour produire des motifs complexes avec de petites géométries et des structures complexes.
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