Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares #9399693 à vendre en France
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON L'équipement de photorésistance Antares est une solution innovante pour le procédé de photolithographie utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le système utilise une méthode brevetée à double couche « peau d'éléphant » pour fixer des couches de photorésist sur des plaquettes semi-conductrices. La couche supérieure de résistance agit comme un masque contre la photorésist pour modeler les caractéristiques désirées sur la surface tandis que la couche inférieure de résistance fournit un traitement supplémentaire pour créer les motifs et les caractéristiques désirés. La photorésistance FSI Antares utilise une technologie de faisceau E de marque avec deux sources laser pour obtenir les propriétés souhaitées sans brûler la couche de photorésist. Les deux sources laser - une parallèle et une perpendiculaire - produisent un motif de trous et de pics sur la couche de résine photosensible afin de former le motif désiré. La machine E-beam unique de TEL Antares permet une précision beaucoup plus grande de la résolution de frappe que d'autres systèmes de photorésistance, car les trous peuvent être placés avec précision sur les pics, sans purge ou irrégularité dans le motif. En plus de la technologie E-beam, l'outil Antares utilise également un environnement à vide élevé pour éviter toute oxydation de la couche de résine photosensible. Cela permet d'éviter la corrosion due à l'exposition intense à la lumière et préserve également la structure cristalline de la résine photosensible. TOKYO ELECTRON Antares actif est également résistant à la contamination photosensible, qui est un problème courant en photolithographie. Pour assurer la qualité des motifs, le modèle dispose d'un équipement de surveillance automatisé pour identifier les particules susceptibles de contaminer la couche de résine photosensible. Enfin, le système photorésist FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Antares est très rentable car il réduit les dépenses d'équipement et de coûts ainsi que les procédés manuels fastidieux associés à la fabrication et aux essais. Cela rend l'unité particulièrement attrayante pour les entreprises de semi-conducteurs qui cherchent à réduire les coûts tout en améliorant la qualité de leurs produits. Dans l'ensemble, FSI Antares photoresist machine est une solution avancée qui offre des avantages significatifs pour ceux de l'industrie des semi-conducteurs. La précision supérieure des essais, l'environnement à vide élevé, la fonction anti-contamination et le rapport coût-efficacité offrent une solution fiable et de haute qualité pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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