Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Atlas #57163 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Atlas est un équipement photorésistant de nouvelle génération conçu pour créer des motifs nanométriques sur des plaquettes semi-conductrices. Il offre un ensemble complet de fonctionnalités pour le contrôle des processus, avec des capacités pour les activités de post-imagerie et de pré-traitement. Le système est équipé d'un outil d'imagerie photo haut de gamme qui expose la lumière à la couche photorésist pour créer des motifs sur la plaquette semi-conductrice. Il fonctionne à des longueurs d'onde comprises entre 360 nm et 800 nm, et peut être ajusté pour correspondre aux caractéristiques de différentes résistances et processus photo. L'outil d'image photo est capable d'atteindre une résolution de 0,2 μ m. L'unité contient également un étage de plaquette qui comporte une stabilisation active, une caractéristique clé pour atteindre la précision nanométrique souhaitée. L'étage de plaquettes supporte une gamme de tailles et d'épaisseurs de plaquettes, et est capable de processus itératifs rapides comme l'écriture de masque laser. FSI Atlas est équipé d'un robot haute vitesse capable d'effectuer des étapes de processus à haut débit. Il comporte des en-têtes à microprocesseur qui peuvent être utilisées pour modifier précisément le motif de la plaquette. Il dispose également d'une capacité de gestion de résist haut de gamme qui assure un développement propre et stable de la couche de résist. Cela permet également la surveillance à distance des paramètres du processus, contribuant à assurer une résolution rapide des problèmes de processus. La machine est également livrée avec une technologie de gestion chimique très efficace qui peut être utilisé pour contrôler avec précision le revêtement et le développement de la résine photosensible. Cet outil de gestion chimique permet de réduire le nombre de puces défectueuses produites. De plus, l'actif est intégré à un modèle d'exécution manufacturière qui peut être utilisé pour surveiller l'ensemble du processus de résistance à long terme. Dans l'ensemble, TEL Atlas est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour la fabrication à l'échelle nanométrique de wafers semi-conducteurs de haute précision. Il offre des fonctionnalités puissantes pour les processus de prétraitement et de post-imagerie, permettant aux utilisateurs de créer et de modifier des modèles de manière sûre et fiable.