Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Carts for Saturn MP #9233650 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Carts for Saturn MP est un équipement de haute performance de photorésistance développé par FSI International, TEL et Lam Research. Il s'agit d'une solution automatisée conçue pour fournir d'excellents résultats de dépôt de film, une faible empreinte et une flexibilité maximale. Le système utilise une unité régulée d'émission de vapeur d'acide nitrique pour pulvériser du matériau photorésist sur la plaquette. La plaquette est ensuite exposée et traitée à une source lumineuse ultra violette. La machine est conçue avec une disposition de chambre « double », ce qui signifie que l'outil utilise deux chambres à vide. La chambre avant maintient un grand volume de pression sous vide, et sert à maintenir le matériau photorésist dans un état optimal avant sa dispersion sur les plaquettes. Cette chambre est également utilisée pour le prétraitement des plaquettes avant exposition. La chambre arrière est utilisée pour l'exposition à la source lumineuse ultra violette. Cette chambre est également équipée de plusieurs cartouches de sorte que plusieurs plaquettes peuvent être traitées en même temps. L'actif Saturn MP est capable d'offrir une excellente uniformité d'épaisseur, flexibilité et temps de réponse rapide. Il est également équipé de multiples commandes de processus pour les réglages à la volée. La chambre chauffée est capable de températures jusqu'à 650 ° C, et le modèle peut être équipé d'une chambre de gravure à plasma pour une flexibilité de processus supplémentaire. L'outil intégré est conçu pour réduire le temps de traitement global - jusqu'à 70 %. La fonction d'amortissement ultra faible permet un ajustement dynamique du processus avec un minimum de vibrations et de perturbations minimisées. Son équipement de surveillance et d'alarme fournit des rapports en temps réel sur la santé et le rendement du système. L'unité Saturn MP dispose également de fonctionnalités avancées en option, telles qu'un chargeur multi-plaquettes intégré ou un bras robotique, ou une machine embarquée de livraison et de récupération de gaz. En outre, l'outil de recette intégré permet la flexibilité de stocker jusqu'à quinze recettes de processus différentes qui peuvent être accessibles avec la simple pression d'un bouton. En conclusion, FSI Carts for Saturn MP asset est une solution de processus automatisée intelligemment conçue qui offre d'excellents résultats de dépôt de film, une faible empreinte et une flexibilité maximale. C'est un outil puissant pour tout concepteur de photorésist.