Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Chemical dispense system #293751201 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON L'équipement de distribution chimique, communément appelé système de photorésistance, est un équipement sophistiqué conçu pour la distribution de précision des produits chimiques utilisés dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Cette unité joue un rôle critique dans l'étape de photolithographie de fabrication de semi-conducteurs, où des matériaux photorésistants sont distribués sur des plaquettes de silicium pour créer des motifs qui définissent le circuit des circuits intégrés. Au cœur de la machine FSI Chemical dispense sa capacité à distribuer avec précision des produits chimiques photorésistants sur des plaquettes de silicium avec une précision et une répétabilité élevées. Pour ce faire, il faut combiner des technologies de distribution avancées, notamment des taux de distribution programmables, un contrôle précis du volume et des mécanismes sophistiqués de surveillance et de rétroaction. Une des caractéristiques clés de l'outil est sa conception de tête de distribution double, qui permet la distribution simultanée de deux produits chimiques différents sur la plaquette pour permettre la fixation multicouche. Cette caractéristique est particulièrement importante dans les procédés semi-conducteurs avancés où plusieurs couches de photorésist peuvent être nécessaires pour créer des motifs de circuits complexes. L'actif est équipé d'une gamme de capteurs et de dispositifs de surveillance pour assurer une distribution précise et cohérente des produits chimiques. Il s'agit notamment de capteurs de pression, de capteurs de débit et de capteurs de niveau qui surveillent en permanence le processus de distribution et fournissent une rétroaction en temps réel au modèle de commande. Cette boucle de rétroaction permet à l'équipement d'effectuer des réglages rapides pour distribuer des paramètres afin de maintenir un contrôle précis sur le processus de distribution. En outre, TEL Chemical dispense system est conçu pour traiter une large gamme de produits chimiques photorésistants, y compris des photorésistes positifs et négatifs, ainsi que divers mélanges de solvants et viscosités. Cette flexibilité permet aux fabricants de semi-conducteurs d'adapter l'unité à différentes exigences de processus et d'optimiser les performances pour des applications spécifiques. En plus de ses capacités de distribution, la machine dispose également de fonctions de nettoyage et d'entretien avancées pour garantir des performances et une fiabilité optimales. Les routines de nettoyage automatisées et les capacités d'autodiagnostic aident à minimiser les temps d'arrêt et à réduire le risque de contamination pendant le fonctionnement. Dans l'ensemble, l'outil TOKYO ELECTRON Chemical dispense représente une solution de pointe pour la distribution précise de produits chimiques photorésistants dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Ses caractéristiques avancées, ses capacités de surveillance étendues et sa conception polyvalente en font un outil indispensable pour obtenir des caractéristiques de haute qualité et améliorer l'efficacité des processus dans la production de dispositifs semi-conducteurs.