Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON EXCALIBUR #9137323 à vendre en France

FSI / TEL / TOKYO ELECTRON EXCALIBUR
ID: 9137323
Dual stage vapor etchers.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON EXCALIBUR est un équipement de photorésistance conçu pour créer des images de haute précision avec une résolution jusqu'à 100nm. Il est capable de produire des images rapides et haute résolution au format numérique et analogique. Le système est composé de quatre composants principaux : une unité d'exposition, un étage motorisé, une chambre et une unité de photorésistance. La machine d'exposition comprend une source d'éclairage pour diriger la lumière diffractée sur le substrat, des moteurs de digitalisation pour créer un éclairage uniforme, des obturateurs pour contrôler l'intensité de la lumière et des lentilles optiques pour focaliser le faisceau. L'étage motorisé est chargé de déplacer le substrat autour de la chambre afin de localiser les zones exposées. La chambre sert à créer le vide qui permet un haut niveau de précision lors du traitement du substrat. L'unité de photorésist fournit la composition chimique correcte des photorésistes utilisés dans l'application des différentes couches des images. L'outil fonctionne en plaçant le substrat sur l'étage motorisé et en déplaçant le substrat sous la source d'éclairage vers les différents points de la puce qui doivent être exposés. En contrôlant la source d'exposition, on illumine la zone de l'image et on active les produits chimiques dans la résine photosensible. Le substrat est ensuite déplacé au point suivant et la même procédure est répétée. Les produits chimiques de la résine photosensible réagissent sur la lumière de la source d'exposition, créant une couche sur le substrat qui devient plus tard l'image. Une fois le procédé terminé, le substrat est ensuite déplacé dans la chambre de développement qui comprend les machines de filage et de rinçage du substrat avec les produits chimiques nécessaires. Cela aide à laver l'excès de résine photosensible, laissant derrière elle une image propre et haute résolution. FSI EXCALIBUR actif est adapté pour l'utilisation dans les processus avancés de photolithographie pour créer des images de haute précision et de haute qualité dans les formats numériques et analogiques. Il utilise les capacités avancées de l'étage motorisé pour maximiser la précision des images et s'assure que la sortie est de la plus haute qualité possible. Il est également capable de traiter rapidement des substrats, permettant la production de volumes importants dans un court laps de temps. Le modèle est conçu pour fournir aux utilisateurs une solution photorésist fiable et performante.
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