Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON HELIOS 52 #187971 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON HELIOS 52 est un équipement de contrôle de processus photorésist, conçu pour une utilisation en photolithographie de plaquettes semi-conductrices. Le système est capable de mesurer avec précision la réflectivité et les autres caractéristiques de résistance du film de résine, afin de s'assurer que le motif de résine peut être reproduit avec précision dans d'autres étapes du processus de microfabrication. C'est une unité automatisée, capable de contrôler la réflectivité de la plaquette et d'autres caractéristiques de résistance en temps réel, permettant la répétabilité et la précision des processus. La machine se compose d'un microscope 10X, équipé d'un mécanisme de focalisation pas à pas, Galvo Stage, et plaquette sensorielle. Le microscope est utilisé pour mesurer la réflectivité optique du film de résine, permettant à l'outil d'identifier et de compenser d'éventuelles irrégularités. Le Galvo Stage permet de mesurer plusieurs points sur la plaquette, offrant une approche impartiale pour trouver le meilleur centre du motif. La plaquette sensorielle est recouverte d'un revêtement anti-réflecteur, assurant les résultats aussi précis que possible. L'actif intègre un modèle d'acquisition de données, conçu pour stocker, analyser et déclarer les données recueillies au cours du processus. Cela permet à l'équipement de comparer les résultats de chaque processus aux valeurs prédéterminées, et d'ajuster le processus au besoin pour une optimisation ultérieure. Ce système permet également l'automatisation des réglages de processus, permettant à l'unité de s'ajuster rapidement à une variété de conditions de processus. De plus, la machine permet l'accès à distance, permettant le diagnostic à distance et le dépannage. De plus, l'outil FSI HELIOS 52 dispose d'une interface logicielle avancée. Cette interface permet de configurer et de contrôler facilement les processus de photolithographie, ce qui peut être une tâche complexe. Le logiciel comprend également une interface utilisateur graphique, permettant à l'utilisateur de visualiser le processus et les résultats de manière visuelle. Il est ainsi plus facile pour les utilisateurs de suivre les progrès et d'identifier les problèmes, rapidement et avec précision. Dans l'ensemble, TEL HELIOS 52 photoresist actif est un modèle de contrôle de processus avancé, capable de mesurer rapidement et avec précision les caractéristiques de résistance. Son interface logicielle avancée permet une configuration et un contrôle faciles du processus de photolithographie, garantissant que les résultats sont précis et reproductibles. Grâce à ses capacités d'acquisition de données et d'accès à distance, il permet d'appliquer des ajustements et de suivre l'avancement du processus, rapidement et avec précision.