Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON HELIOS 52 #293640333 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON HELIOS 52 est un équipement de photorésistance utilisé pour la lithographie dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est utilisé pour développer et exposer des matériaux photorésistants et des films isolants. La machine offre une imagerie précise et fiable et résiste à toute exigence de conception contemporaine. FSI HELIOS 52 utilise un étage d'imagerie multiple haute performance qui assure des performances optiques stables et offre une large gamme de précision d'imagerie pour un procédé de fabrication amélioré. Le système se compose de deux moteurs, un moteur pas à pas et un miroir galvanomètre. Le moteur pas à pas de précision commande des déplacements fins en ligne tandis que le galvanomètre commande des mouvements rapides dans le plan. La gamme optique se compose d'un objectif 5x pour obtenir une imagerie haute résolution jusqu'à 1,15 micron sur une plaquette de 1 pouce. Une cage de miroir dédiée à faible distorsion peut être utilisée pour obtenir un niveau de précision plus élevé. TEL HELIOS 52 dispose également d'une chambre d'humidité contrôlée par la température qui est conçue pour maintenir la température de résistance, l'humidité et les conditions d'exposition à un niveau constant, ce qui est particulièrement important pour les opérations de photolithographie. Il comprend également un détecteur de position du scanner pour un positionnement et un alignement plus fins du plan d'imagerie. La machine utilise une unité de procédé chimique à pôles secs à 2 composants pour graver le matériau photorésist suivi d'un rinçage du matériau photorésist pour éliminer les résidus de traitement. Cette machine est spécialement conçue pour les processus qui nécessitent une précision de recouvrement élevée et des temps de débit courts. Il est également équipé d'une cassette automatisée de traitement de la résistance, d'une cassette de développement de film sec et d'une cassette d'exposition pour réduire les temps d'arrêt et de charge. HELIOS 52 est capable d'une exposition fiable de différents motifs avec un débit, une précision et un rendement élevés en contrôlant en permanence l'uniformité du film. La machine de photolithographie de pointe est conçue pour les industries des semi-conducteurs et convient à la production de dispositifs de pointe. Ses caractéristiques en font un excellent choix pour ceux qui recherchent un outil d'imagerie efficace, fiable et précis.